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詳細(xì)介紹
優(yōu)異精密測量顯微鏡
*測量顯微鏡
測量顯微系統(tǒng) MS5
測量范圍：X,Y:400X300 或 350X350mm
Z: 200mm (可根據(jù)用戶測量要求定制）
測量顯微系統(tǒng)
顯示分辨率：0.1um
測量**度：1.5um + L/400，10納米可選，1納米；
總放大倍數(shù)：50X 到 5000X（光學(xué)）
可選測量傳感器：CWL白光色差傳感器－用于2D/3D、表面粗糙度測量
WLI白光干涉儀－用于細(xì)微結(jié)構(gòu)測量分析
LASER激光測量傳感器
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