詳細介紹
焦距(EFL)測量
EFL+/- | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
標準測量范圍 | +5 … + -5 … | +5 … + -5 … | +5 … + -5 … | +5 … + -5 … | +5 … + |
擴展測量范圍 | 1 … | 1 … | 1 … | 可達 |
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樣品直徑 | 1 … 35(75)mm | 1 … 35(75/150)mm | 1 … 35(75)mm | 1 … 35(75/150)mm | 1 … 75(150)mm |
重復性 | 0.03 … 0.2% | ||||
測量精度 | 5 … 25 … 500 … | ||||
測量時間 | 手動聚焦:3 … 20秒 測量時間:鼠標點擊 | *測量:5 … 8秒 后續(xù)測量: 3 … 5秒 |
軸上傳遞函數(shù)(MTF)測量
在軸MTF測量 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
測量范圍 | 優(yōu)良MTF測量: 5 … | 優(yōu)良MTF測量: 5 … | 優(yōu)良MTF測量: 5 … | 優(yōu)良MTF測量: 5 … | 優(yōu)良MTF測量: 5 … |
測量模式 | 手動聚焦,自動測量 | 自動聚焦,自動測量 | |||
波長范圍 | 400 … 750(1000)nm | ||||
空間頻率 | 0 … 300(500)lp/mm | ||||
刀口分析 ● 重復性 ● 精 度 | 2% 3% | ||||
狹縫評價 ● 重復性 ● 精 度 | 1% 2% |
后截距(BFL)和曲率半徑測量
BFL/FFL 曲率半徑 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
測量范圍 | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-5…+/ |
重復性 | 0.03 … 0.2% | ||||
測量精度 | 0.05% … 0.3% |
擴展型的技術參數(shù):中心偏差測量
透射和反射法測量中心偏差 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
測量范圍 | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-3…+/ | +/-5…+/ |
可擴展到+/- | |||||
重復性 | +/- 0.1微米或者+/-1秒 | ||||
測量精度 | +/- 0.2微米或者+/-2秒 | ||||
測量時間 | 3 … 15秒 |
角度測量
角度測量 | OptiSpheic | OptiSpheric L | OptiSpheric Autofocus | OptiSpheric L Autofocus | OptiSpheric 1000 Autofocus |
分辨率 | 0.01秒 | ||||
重復性 | 0.2秒 | ||||
測量精度 | 1秒 |