型 號

（手動型，自動型）

OptiCenteric

OptiCentric

L

OptiCentric

MOT

OptiCentric

MOT 2R

樣品直徑范圍

氣浮平臺直徑

225

225

225/600

100/300

225/400/600

100/300

標(biāo)準(zhǔn)測量范圍

（焦距、曲率半徑）

±5 …±250mm

±5 …±400mm

±5 …±450mm

±5 …±450mm

焦距調(diào)節(jié)模式

線性導(dǎo)軌升降

手動微調(diào)焦5um

高度調(diào)節(jié)行程250

<--

手動微調(diào)焦5um

電動升降，自動聚焦

電動調(diào)焦步進0.5um

<--

電動調(diào)焦步進0.5um

尺寸(mm)

重量(kg)

355 x 455 x 970

35

355 x 490 x 1000

35

550 x 750 x 1733

60

750 x 1150 x 2000

80

可擴展測量范圍

測量精度及模式

可擴展到 ±2000 mm （焦距、曲率半徑）；

保證測量精度：+/- 0.2微米或者+/-2秒； 測量模式-透射法和反射法，軸上測量

測量參數(shù)

及擴展

反射法和透射法測量球面中心偏差；透鏡的定心膠合；組合透鏡系統(tǒng)的中心偏差。光盤和光驅(qū)光學(xué)元件：CD光學(xué)讀取頭的調(diào)校；玻璃磁盤旋轉(zhuǎn)的搖擺度。平面光學(xué)元件楔角。

BFL 、曲率半徑、透鏡厚度、非球面中心偏差、平面元件角度等。

其他參數(shù)

準(zhǔn)直儀焦距150mm，通光孔徑30mm，測量頭焦距200mm；測量波長綠光；精密可旋轉(zhuǎn)夾具；可傾斜雙軸調(diào)節(jié)臺TRT200帶微調(diào)千分尺，精度2秒/1um；氣浮平臺的軸向徑向精度0.05um；理想溫度：20-22度（0-40）濕度30-70% ；*大供氣壓：1 MPa (10 bar)