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    北京德華振峽科技有限公司>>>>納米表面測量儀

    納米表面測量儀

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    更新時間:2020-08-19 10:26:42瀏覽次數(shù):112

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    產(chǎn)品簡介

    德國FRT測量系統(tǒng)應(yīng)用于所有類型的表面測量分析。納米表面測量儀采用一個或多個傳感器高精密測量輪廓特征,表面粗糙度,平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光學(xué)白光色差傳感器進行非接觸無損傷測量,工作距離大,快速輸出2D或3D測量數(shù)據(jù)。適合研發(fā)和質(zhì)控領(lǐng)域應(yīng)用范圍:半導(dǎo)體晶片加工檢測;鈉米刻蝕和操作;MEMS;IC封裝;汽車制造系統(tǒng);復(fù)合材料分析;生物分析磨擦分析;薄膜厚度測量,微細結(jié)構(gòu)分析等。

    詳細介紹

    納米表面測量儀 納米表面測量儀

    表面摩擦分析 注塑模型腔分析

    納米表面測量儀使用光學(xué)色差傳感器FRT CWL詳細介紹如下:

    光學(xué)色差傳感器FRT CWL 工作原理和技術(shù)數(shù)據(jù)

    光學(xué)色差傳感器(Chromatic sensor FRT CWL)非接觸地測量零件的表面,具有高分辨率和高測量精度。傳感器可以測量所有的表面,與被測零件的反射能力,粗糙度和顏色無關(guān)。非常小的測量斑點保證了很高的幾何位置分辨率。采用不同的測量頭,能夠達到納米級的高分辨率和毫米級的測量范圍。測量是同軸進行的,避免了在照明方向和測量方向不一致時產(chǎn)生的光暈現(xiàn)象。

    測量的基本原理是,用白光進行逐點距離測量。聚焦白光照射被測零件表面,傳感器測量反射光線的波長分布,由此測定零件的優(yōu)良高度。由于各種原因產(chǎn)生的光強變化不影響測量,比如不同的材料,劃痕或表面粗糙度。

    色差傳感器的距離測量與傳統(tǒng)的光學(xué)測試頭的本質(zhì)區(qū)別是在測量方向無移動部件,無磨損測量。由于跟蹤透鏡的系統(tǒng)擺動而產(chǎn)生的誤差被*消除了。

    色差傳感器不僅給測量儀器提供了出色的技術(shù)特性,而且堅固結(jié)實,非常適合復(fù)雜生產(chǎn)環(huán)境的特殊要求。被動式的測試頭通過光纖與電子單元連接,可以距離傳感器電子系統(tǒng)數(shù)米遠工作。

    FRT CWL 的工作原理是色差距離測量。白光通過測試頭,以不同波長的焦距聚焦在零件表面。照射在零件表面的光線的光譜,在光譜儀中有一個峰值,由這個峰值波長來確定零件的高度。利用這個原理,傳感器能毫無問題地測量透明的,高反射的,或者黑色的表面。這種測量非常迅速,而且沒有邊緣效應(yīng)(艾伯哈*應(yīng))。

    色差傳感器有一個LC 顯示器實時顯示測量值,通過功能鍵可以設(shè)置傳感器功能。通過RS232 接口與系統(tǒng)連接。

    MicroProf 基本型號:

    MicroProf 100

    MicroProf 200

    MicroProf 300

    MicroProf 600

    測量范圍*

    100mmX100mm

    200mmX200mm

    300mmX300mm

    600mmX600mm

    測量速度

    100mm/sec

    100mm/sec

    100mm/sec

    100mm/sec

    測量零件高度*

    Max. 50mm

    Max. 50mm

    Max. 50mm

    Max. 50mm

    測量頭裝置

    Heidenhain

    Heidenhain

    Heidenhain

    Heidenhain

    光電測量編碼器

    光電測量編碼器

    光電測量編碼器

    光電測量編碼器

    工作臺

    直線電機驅(qū)動

    直線電機驅(qū)動

    直線電機驅(qū)動

    直線電機驅(qū)動

    儀器結(jié)構(gòu)

    花崗巖懸臂結(jié)構(gòu)

    花崗巖龍門結(jié)構(gòu)

    花崗巖龍門結(jié)構(gòu)

    花崗巖龍門結(jié)構(gòu)

    注:*----為根據(jù)用戶的不同測量要求,進行選擇

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