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詳細(xì)介紹
型號(hào) | PrismMaster C-200 | PrismMaster | PrismMaster HR | PrismMaster MOT | PrismMaster HR MOT |
工作臺(tái)精度 | 軸向、徑向精度 優(yōu)于2um | 超高精密氣浮軸承，軸向、徑向精度優(yōu)于0.05um | |||
編碼器分辨率 | 0.36um | 0.36um | 0.036um | 0.36um | 0.036um |
編碼器精度 | 0.5um | 0.5um | 0.2um | 0.5um | 0.2um |
工作方式 | 手動(dòng)旋轉(zhuǎn) | 手動(dòng)旋轉(zhuǎn) | 手動(dòng)旋轉(zhuǎn) | 自動(dòng)旋轉(zhuǎn)定位 | 自動(dòng)旋轉(zhuǎn)定位 |
測(cè)量精度 單次精度 多次精度 | 1.5秒 0.6秒 | 0.75秒 0.5秒 | 0.5秒 0.2秒 | 0.75秒 0.5秒 | 0.5秒 0.2秒 |
光電自準(zhǔn)直管 | EFL=300mm 分辨率：0.01秒 重復(fù)性：±0.1秒 | EFL=500mm D=57mm 分辨率：0.01秒 重復(fù)性：±0.1秒 | |||
測(cè)量模式 | 優(yōu)良測(cè)量。反射法測(cè)量棱鏡任意相鄰兩個(gè)面的夾角，測(cè)量范圍0-360° | ||||
可擴(kuò)展測(cè)量功能 | 透射測(cè)量方法，塔差 | ||||
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