詳細(xì)介紹
12英寸平面激光干涉儀
--*大測量口徑:300mm(平面)
--氣浮隔振系統(tǒng),大理石平臺
--氣浮移動導(dǎo)軌,零件托盤快速移動,臺面傾斜可調(diào)
--9英寸顯示器
--12英寸平面參考物鏡,λ/10
測量分析軟件可選
--*大測量口徑:300mm(平面)
--氣浮隔振系統(tǒng),大理石平臺
--氣浮移動導(dǎo)軌,零件托盤快速移動,臺面傾斜可調(diào)
--9英寸顯示器
--12英寸平面參考物鏡,λ/10
測量分析軟件可選