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- 自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的突出特點：
- 一款的3D光學測量儀
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能。
*和高效
LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨，高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合全自動
測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等
詳細介紹
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Bruker Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學測量系統(tǒng)。
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的主要技術參數(shù)：
位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決于表面結(jié)構(gòu)
大樣品高度：100mm ～ 345mm
大樣品重量：30kg
水平分辨率：0.44μm
垂直分辨率：10nm
大掃描高度：22.5mm
大擴展視野范圍：10000mm2
大單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度：0.01μm
大測量高度：22.5mm
大測量范圍：10000mm2
大測量形貌長度：100mm
小可重復性：0.001μm
小測量粗糙度（Ra）：0.03μm
小測量粗糙度（Sa）：0.015μm
小測量半徑：1μm
小測量垂直角度：20°
大測量傾斜角度：87°
樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決于表面結(jié)構(gòu)
大樣品高度：100mm ～ 345mm
大樣品重量：30kg
水平分辨率：0.44μm
垂直分辨率：10nm
大掃描高度：22.5mm
大擴展視野范圍：10000mm2
大單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度：0.01μm
大測量高度：22.5mm
大測量范圍：10000mm2
大測量形貌長度：100mm
小可重復性：0.001μm
小測量粗糙度（Ra）：0.03μm
小測量粗糙度（Sa）：0.015μm
小測量半徑：1μm
小測量垂直角度：20°
大測量傾斜角度：87°
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能：
測量速度增加20倍
自動設置
適用更多材料及更復雜表面的測量
更穩(wěn)定，更精密的測量
測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量
自動設置
適用更多材料及更復雜表面的測量
更穩(wěn)定，更精密的測量
測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量
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