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詳細介紹
Nano Focus半導體晶圓檢測設備（全自動集成型）產品參數
| 分辨率 | X & Y軸: 0.5-2.5um; |
|---|---|
| Z軸：0.016 um; | |
| 取樣率 | 20000 Hz |
| 工作距離 | 8 mm |
| 掃描寬度 | 630 um |
| 高度范圍 | 300 um – 400 um |
| 機臺尺寸 | 300mm x 300mm（可定制） |
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