詳細(xì)介紹
Nano Focus半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備(全自動集成型)產(chǎn)品參數(shù)
分辨率 | X & Y軸: 0.5-2.5um; |
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Z軸:0.016 um; | |
取樣率 | 20000 Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630 um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機(jī)臺尺寸 | 300mm x 300mm(可定制) |