詳細(xì)介紹
NanoFocus半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備(人工裝載)產(chǎn)品參數(shù)
分辨率 | X& Y軸: 0.5-2.5um; |
---|---|
Z軸:0.016 um; | |
取樣率 | 20000Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機(jī)臺尺寸 | 400mmx 400mm(可定制) |
質(zhì)朋儀器貿(mào)易(上海)有限公司 |
參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間:2020-08-19 12:26:37瀏覽次數(shù):328
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NanoFocus半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備(人工裝載)產(chǎn)品參數(shù)
分辨率 | X& Y軸: 0.5-2.5um; |
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Z軸:0.016 um; | |
取樣率 | 20000Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機(jī)臺尺寸 | 400mmx 400mm(可定制) |