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粗糙度輪廓測(cè)定一體機(jī)SEF680產(chǎn)品參數(shù)
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| 表面粗度 | |
|---|---|
| 測(cè)定范圍 | Z:1200um X:100mm |
| 觸針/測(cè)定力 | R2um 0.75mN |
| 直線度精度 | 0.15um/100mm |
| 輪廓形狀 | |
| 解析項(xiàng)目 | 要素/方位向量/非球面/滾珠螺桿/MASTER比較 |
| 測(cè)定范圍 | Z:60mm X:100mm |
| 觸針/測(cè)定力 | R25um 30mN以下 |
| 直線度精度 | 1.0um/100mm |
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