?產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MiniLab026是英國(guó)MOORFIELD公司一款落地式高性能科研級(jí)PVD綜合鍍膜系統(tǒng)，采用模塊化設(shè)計(jì)，可在一臺(tái)儀器上實(shí)現(xiàn)常規(guī)電阻熱蒸發(fā)鍍膜，低溫?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng)及磁控濺射鍍膜,可用于鍍金屬膜，有機(jī)物薄膜及絕緣材料的單層或者多層功能膜與復(fù)合膜，同時(shí)還可搭載等離子刻蝕機(jī)退火模塊，該系統(tǒng)被上許多學(xué)術(shù)團(tuán)隊(duì)采用，是科研用戶PVD的理想選擇。

?產(chǎn)品特性

? 落地結(jié)構(gòu)，模塊化設(shè)計(jì)

? 可選擇DC與RF兩種磁控濺射源，用于金屬及絕緣層鍍膜，濺射靶角度連續(xù)可調(diào)，可獨(dú)立/依次/共同濺射

? 可選擇電阻熱蒸發(fā)源，低溫?zé)嵴舭l(fā)源，用于金屬及有機(jī)物鍍膜

? 可選配等離子刻蝕機(jī)及高溫退火裝置（高1100℃）

? 大可支持6英寸樣品

? 兼容手套箱

? 可加3路反應(yīng)氣體，Ar，N2，O2可選配有MFC控制

? 配置高精度真空規(guī)進(jìn)行壓力全自動(dòng)控制，真空度低至 <5×10-7 mbar

? 配置Inficon SQC-310膜厚測(cè)量?jī)x用于薄膜厚度監(jiān)測(cè)

? 操作簡(jiǎn)單：通過(guò)觸屏或計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作

? 自定義并可存儲(chǔ)多個(gè)recipe

? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能

? 可選加熱樣品臺(tái)，高溫度500℃，精度+/-1℃

? 可選旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

? 售后維護(hù)簡(jiǎn)單

?典型結(jié)構(gòu)

? 金屬薄膜與絕緣層蒸鍍：配置2個(gè)磁控濺射源

? 金屬薄膜蒸鍍：配置3個(gè)電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源

? 有機(jī)薄膜與金屬薄膜同時(shí)蒸鍍：配置2個(gè)電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源與1個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源

?應(yīng)用

該系統(tǒng)用于半導(dǎo)體材料、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽(yáng)能薄膜電池實(shí)驗(yàn)研究。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。