?產(chǎn)品簡介

NanoPVD-T15A是英國MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研級(jí)熱蒸發(fā)系統(tǒng)，配置有常規(guī)電阻熱蒸發(fā)系統(tǒng)及低溫?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng)，分別用于金屬薄膜蒸鍍及有機(jī)薄膜蒸鍍，該系統(tǒng)被上許多學(xué)術(shù)團(tuán)隊(duì)采用，廣泛應(yīng)用于OLED/OPV/OFET的研究領(lǐng)域。

?產(chǎn)品特性

? 緊湊型桌面結(jié)構(gòu)，模塊化設(shè)計(jì)

? 可同時(shí)用于金屬薄膜蒸鍍及有機(jī)薄膜蒸鍍

? 4英寸樣品臺(tái)

? 真空度低至 <5 × 10-7 mbar

? 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度監(jiān)測(cè)

? 高可安裝4個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源（用于蒸鍍有機(jī)物薄膜）

? 低溫?zé)嵴舭l(fā)源高溫度600℃

? 高2個(gè)電阻熱蒸發(fā)源（用于蒸鍍金屬薄膜）

? 電阻熱蒸發(fā)源的高溫度1700℃

? 高縱橫比倉室，用于獲得高質(zhì)量薄膜

? 操作簡單：通過觸屏或計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作

? 自定義并可存儲(chǔ)多個(gè)recipe

? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能

? 可選加熱樣品臺(tái)，高溫度500℃

? 可選旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

? 售后維護(hù)簡單

? 兼容超凈間

?典型結(jié)構(gòu)

? 有機(jī)薄膜蒸鍍：配置4個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源

? 金屬薄膜蒸鍍：配置2個(gè)電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源

? 有機(jī)薄膜與金屬薄膜同時(shí)蒸鍍：配置2個(gè)電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源與2個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源

?應(yīng)用

該系統(tǒng)用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽能薄膜電池實(shí)驗(yàn)研究。可廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。