• 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

  ST500型三維表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀，采用的白光共聚焦線光源技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度超快測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，主要用于測(cè)量大尺寸樣品表面的三維表面形貌。

• 產(chǎn)品原理：采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率

  

  - 利用白光點(diǎn)光源，光線經(jīng)過(guò)透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長(zhǎng)的光分開(kāi)后入射到被測(cè)樣品上。

  - 位于白光光源的對(duì)稱(chēng)位置上的超靈敏探測(cè)器系統(tǒng)用來(lái)接收經(jīng)被測(cè)點(diǎn)漫反射后的光。
  

  - 根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來(lái)的特定波長(zhǎng)的光，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。

  - 再通過(guò)點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即X-Z坐標(biāo)

  - 后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)

  - 后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專(zhuān)業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。

  - 軟件能夠自動(dòng)獲取用戶(hù)關(guān)心的表面形貌參數(shù)。

• 產(chǎn)品特性：

  - 采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率
  - 測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高
  - 測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、 光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
  - 尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面
  - 不受環(huán)境光的影響
  - 測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理
  - Z方向測(cè)量范圍大：為27mm

• 主要功能：

  - 可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖；

  - 可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像；

  - 自動(dòng)得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku）；

- 自動(dòng)得到樣品的二維面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku）；

- 可得到樣品的平整度，波紋度等參數(shù)；

- 自動(dòng)校準(zhǔn)功能，例如粗糙度，一般情況下對(duì)于曲面樣品，首先展平，然后自動(dòng)給出粗糙度的參數(shù)；

- 具有尺寸測(cè)量：長(zhǎng)度，寬度，角度，深度,臺(tái)階高度；

- 可測(cè)孔洞磨損面積，磨損體積等參數(shù)；

- 具有功率譜密度測(cè)試功能；

- 具有分形統(tǒng)計(jì)功能；

......

• 主要技術(shù)參數(shù):
  - XY全自動(dòng)大掃描范圍：400×300（mm）
  - XY掃描步長(zhǎng)：0.1μm
  - 大掃描速度：200mm/s

  - Z方向大測(cè)量范圍：27mm
  - Z方向測(cè)量分辨率：2nm

• 產(chǎn)品應(yīng)用：

  MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能、摩擦磨損、汽車(chē)、腐蝕、砂紙、巖石等。