• NX-Hivac型真空原子力顯微鏡簡介：

  NX-Hivac 型真空原子力顯微鏡是主要用為對氣氛與水敏感材料研究專門設(shè)計(jì)的一款高真空原子力顯微鏡。NX-Hivac同樣是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng)，掃描分辨率達(dá)到了0.02nm，集成了PARK公司技術(shù)“非接觸式工作模式"“智能掃描模式"“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器"，并標(biāo)配快速掃描模式，變速掃描模式，加上可選功能模塊，使得NX-Hivac型原子力顯微鏡被廣泛用于物理，電學(xué)，力學(xué)，半導(dǎo)體等方向的研究。

• NX-Hivac型真空原子力顯微鏡技術(shù)特色：

  1）真空度高，達(dá)10^-4Pa，抽真空速度快,5min內(nèi)達(dá)到10^-5Torr以下

  2） 在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

  

  3）NX-Hivac 真空自動控制

  Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實(shí)現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。?

  

4）采用非接觸式工作模式：

PARK公司是目前一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。

下圖是測量CrN樣品的實(shí)例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損！！！

5）探測器噪聲水平為業(yè)界低：0.02nm

Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲低的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

6）采用高性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

7）操作極其簡單：

- 具有“智能掃描模式"Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們*的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)）讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號的大化，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

• NX-Hivac型真空原子力顯微鏡技術(shù)特色：NX10型原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：

- XY方向閉環(huán)掃描范圍：100μm×100μm

- Z方向閉環(huán)掃描范圍：15μm

- 系統(tǒng)噪聲水平： ≤0.02nm

- 全自動樣品臺： 22mm×22mm

- 樣品臺放置單個大樣品尺寸100mm*100mm*20mm

- 真空系統(tǒng)：配置兩級抽真空裝置，真空度：≤10^-4Pa

- 抽真空速度：5 mins以內(nèi)達(dá)到5X10^-5 Torr以下

- 真空倉體內(nèi)部尺寸：250 mm×320 mm×270 mm (WxDxH)

- 正面提供透-真空系統(tǒng)管理軟件：直觀的控制抽真空和排氣過程，具有高可視性和易用性，每個過程都可以通過示意圖顏色的變化進(jìn)行可視化監(jiān)控

• PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南：

  - XE7型原子力顯微鏡：低預(yù)算客戶的理想選擇

  - NX10型原子力顯微鏡：科研級客戶及工業(yè)檢測實(shí)驗(yàn)室的選擇

  - NX-Hivac真空型原子力顯微鏡：高分辨及保障無氧無水環(huán)境

  - NX12型生物型原子力顯微鏡：神經(jīng)學(xué)，生物細(xì)胞檢測及藥物檢測，單細(xì)胞通道客戶的理想選擇

  - XE15型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品及工業(yè)檢測實(shí)驗(yàn)室的選擇

  - NX20型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品，工業(yè)檢測實(shí)驗(yàn)室及在線檢測的選擇

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