• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡簡介：

• 可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動(dòng)化納米測量工具

  Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測整個(gè)300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。

  經(jīng)檢驗(yàn)的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動(dòng)化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)"界面，用戶可以在整個(gè)300mmx300mm區(qū)域輕松實(shí)現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點(diǎn)測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。

• 專為大樣品晶圓檢測而建

  NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的測量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。

• 靈活的300mm樣品吸盤

  Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。

  

• 300mm XY軸工作臺

  機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測量位置。

  

• NX20 支持300mm樣品臺，性能已被證實(shí)

  因其的易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的選擇。憑借其支持300mm電動(dòng)XY軸工作臺的擴(kuò)大平臺，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以*的精度檢測更大的樣品。

• 在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)
  

  SmartScan?允許用戶從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進(jìn)行自動(dòng)順序測量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶便利性和生產(chǎn)效率。

• 強(qiáng)大的工作創(chuàng)建功能

  格式創(chuàng)建流程簡單，允許工程師設(shè)置每個(gè)批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)。

• 針對廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化

  NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供高級測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。

  
  

• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡技術(shù)特色：

  1）采用非接觸式工作模式：

  PARK公司是目前一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。

  

  下圖是測量CrN樣品的實(shí)例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損！！！

  

2）探測器噪聲水平為業(yè)界低：0.02nm

Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲低的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

3）采用高性能平板掃描器：采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

4）操作極其簡單：

- 具有“智能掃描模式"Smart scan：這是PARK公司的技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們*的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)）讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕，將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)。這樣，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時(shí)，您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號的大化，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

5）工業(yè)級別的XEA軟件：具有自動(dòng)識別，自動(dòng)掃描，自動(dòng)分析功能，大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費(fèi)的時(shí)間。

6）導(dǎo)電原子力顯微鏡：

Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場中競爭力，不但有著全行業(yè)低的電流噪聲，且增益范圍也是大，并且可實(shí)現(xiàn)電流快速掃描功能，是半導(dǎo)體測試電流的標(biāo)準(zhǔn)。

- 業(yè)內(nèi)低的電流噪聲(50fA)

- 業(yè)內(nèi)大的電流(10mA)

• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：

  - XY閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)100μm*100μm

  - Z向閉環(huán)掃描范圍大：達(dá)15μm

  - 超高的測量分辨率：可達(dá)0.02nm

- 全自動(dòng)掃描范圍：300mm*300mm

- 具有快速掃描功能：高達(dá)50Hz

• NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡部分測試實(shí)例：

  

• PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南：

  - XE7型原子力顯微鏡：低預(yù)算客戶的理想選擇

  - NX10型原子力顯微鏡：科研級客戶及工業(yè)檢測實(shí)驗(yàn)室的選擇

  - NX-Hivac真空型原子力顯微鏡：高分辨及保障無氧無水環(huán)境

  - NX12型生物型原子力顯微鏡：神經(jīng)學(xué)，生物細(xì)胞檢測及藥物檢測，單細(xì)胞通道客戶的理想選擇

  - XE15型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品及工業(yè)檢測實(shí)驗(yàn)室的選擇

  - NX20型大樣品原子力顯微鏡：大尺寸樣品，工業(yè)檢測實(shí)驗(yàn)室及在線檢測的選擇

  工業(yè)級在線原子力顯微鏡詳細(xì)咨詢！