詳細(xì)介紹
徠卡高真空鍍膜儀 Leica EM ACE600
Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無(wú)油真空系統(tǒng),真空度可達(dá)2×10-6mbar。鍍膜細(xì)膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,可精確控制鍍膜厚度。全自動(dòng)電腦控制,自動(dòng)完成抽真空,鍍膜,放氣...
Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無(wú)油真空系統(tǒng),真空度可達(dá)2×10-6mbar。鍍膜細(xì)膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,可精確控制鍍膜厚度。全自動(dòng)電腦控制,自動(dòng)完成抽真空,鍍膜,放氣等全過(guò)程,一鍵操作。采用當(dāng)下流行的觸摸屏控制,簡(jiǎn)單方便。
儀器可選離子濺射鍍金屬膜,滿足高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)需求。可選碳絲蒸發(fā)鍍碳膜,用于X-射線能譜及波譜分析,或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜。還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜,獲得極其細(xì)膩的金屬膜與碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。
主要技術(shù)參數(shù):
· 可任選離子濺射模式,碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,碳棒(熱阻)蒸發(fā)模式,電子束蒸發(fā)模式,雙濺射模式,濺射-碳絲模式,濺射-碳棒模式,濺
射-電子束模式,雙電子束模式,可兼容EM VCT100冷凍傳輸系統(tǒng),可選輝光放電(用于網(wǎng)格表面親水化)
· 設(shè)計(jì)脈沖式碳絲蒸發(fā)方式,可精確控制碳膜厚度
· 內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,精確控制鍍膜厚度,精度達(dá)0.1nm
· 全自動(dòng)程序控制,自動(dòng)完成抽真空,鍍膜,放氣等過(guò)程
· 觸摸屏控制,簡(jiǎn)單方便
· 采用隔膜泵+渦輪分子泵,無(wú)油真空系統(tǒng),真空度2×10-6mbar
· 濺射電流:0-150mA可調(diào)
· 方形樣品倉(cāng)設(shè)計(jì),樣品倉(cāng)尺寸:200mm(寬)×150mm(深)×195mm(高)
· 樣品臺(tái)內(nèi)置旋轉(zhuǎn),工作距離調(diào)節(jié)范圍:30mm-100mm