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大樣品臺白光輪廓儀Nexview™LS650
閱讀：592 發(fā)布時間：2021-9-2
Nexview™LS650 大樣品臺白光干涉儀非常適合測量 尺寸大，重量大 的樣品，例如注塑透鏡的模具、大尺寸線路板、光學(xué)器件，以及機械零件等等。
LS650樣品臺尺寸及平移范圍，可達(dá) 650mm*650mm ， 可以在這一范圍內(nèi)實現(xiàn)拼接及腳本編程自動測量，具有亞納米級垂直分辨率。
各種白光輪廓儀表面紋理測試，常常需要量測尺寸大，重量大的樣品，例如：
· 大尺寸的電子線路板；
· 注塑透鏡的模具（如上圖）；
· 高能激光應(yīng)用中，大尺寸超光滑光學(xué)器件；
· 需要測試關(guān)鍵面的大尺寸機械零件；
· 有時被測樣品需要特殊夾持機構(gòu)，需要占用的空間大，負(fù)重要求高，也需要高負(fù)重，大尺寸樣品臺的解決方案。
Nexview™LS650 系統(tǒng)基于ZYGO Nexview™NX2 測試頭，繼承了其高精度，高分辨率，良好環(huán)境適應(yīng)性的優(yōu)點。
LS650縱向分辨率優(yōu)于0.1nm 埃級別，可以用于超光滑表面測量；LS650同樣也具有抗振掃描 SureScan™技術(shù)，可以良好適應(yīng)生產(chǎn)環(huán)境的振動影響。
Nexview™LS650 采用龍門結(jié)構(gòu)，配置650mm*650mm平移范圍的自動樣品臺；*大負(fù)重可達(dá)100KG，能良好適應(yīng)大樣品及附屬夾具的尺寸，空間，和重量要求。