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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    詳細(xì)介紹

         
    主要參數(shù)

    型號(hào) MPT-3JN/RL030
    運(yùn)動(dòng)自由度 Z ,θx,θy
    行程范圍(μ m±20%) 30
    轉(zhuǎn)角范圍(mrad±20%) 0.6,0.6
    位移分辨率(nm) 3
    重復(fù)定位精度(nm) -/30
    運(yùn)動(dòng)方向上剛度(N/μm±20%) 2
    大負(fù)載(Kg) 0.5
    固有頻率(Hz±20%) 500
    工作溫度范圍(℃) -20 ~ 80
    模型下載
    IGS
    開環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):PPC-2CR0150

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