詳細(xì)介紹
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主要參數(shù)
IGS 型號(hào) MPT-3JN/RL030 運(yùn)動(dòng)自由度 Z ,θx,θy 行程范圍(μ m±20%) 30 轉(zhuǎn)角范圍(mrad±20%) 0.6,0.6 位移分辨率(nm) 3 重復(fù)定位精度(nm) -/30 運(yùn)動(dòng)方向上剛度(N/μm±20%) 2 大負(fù)載(Kg) 0.5 固有頻率(Hz±20%) 500 工作溫度范圍(℃) -20 ~ 80 模型下載
開環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):PPC-2CR0150