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    產(chǎn)品簡介

    詳細(xì)介紹

        
    主要參數(shù)
      MPT-3JN/RL010 MPT-3JN/RL025 MPT-3JN/RL050
    運(yùn)動(dòng)自由度 Z,θx,θy Z,θx,θy Z,θx,θy
    轉(zhuǎn)角范圍(mrad±10%) ± 0.4 ± 0.8 ± 1.0
    位移范圍(μm±10%) 10 25 50
    位移分辨率(nm) 0.2 0.4 0.5
    重復(fù)定位精度(nm) -/2 -/4 -/5
    角位移分辨率(μrad) 0.4 0.8 1
    角重復(fù)定位精度(μrad) -/4 -/8 -/10
    大負(fù)載(Kg) 0.5 0.5 0.5
    固有頻率(Hz) 1000 1000 800
    重量(g±5%) 250 400 550
    工作電壓(V) 0-150 0-150 0-150
    工作溫度范圍(℃) -20~80 -20~80 -20~80
    外型尺寸 A(mm) 60 80 100
    外型尺寸 B(mm) 52 52 52
    外型尺寸 C(mm) 50 50 50
    模型下載 IGS IGS IGS

    開環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):HPV-3C0150A0500 ;閉環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):PPC-2CR0150

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