詳細(xì)介紹
? 耐撞擊多孔石墨涂層空氣主軸 – 全轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)主軸跳動(dòng)小于 12.5 納米,C 軸反饋分辨率為 0.01 弧秒;
? 業(yè)界*的激光全息線性光柵尺,反饋分辨率 8.4 皮米;
? 整體式復(fù)合大理石床身結(jié)構(gòu),緊湊型空間設(shè)計(jì),優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)(可選配自動(dòng)調(diào)平阻斷式空氣隔震系統(tǒng)),提高熱穩(wěn)定性和減震性;
? 全約束式油靜壓導(dǎo)軌,提供平滑、高剛性和高減震能力的線性運(yùn)動(dòng)性能;
規(guī)格 | 屬性 |
產(chǎn)品參數(shù) | |
General | 250 |
大加工范圍 | 350x200mm |
編程分辨率 | 線性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001° |
主軸轉(zhuǎn)速 | 50至10,000rpm(雙向) |
主軸精度 | 軸向:12.5nm 徑向:12.5nm |
加工精度 | 面型精度 (P-V):≤0.1μm/ 表面粗糙度 (Ra)≤2.0nm |
驅(qū)動(dòng) | 油靜壓導(dǎo)軌、直線電機(jī) |
選配 | C 軸、B 軸、Y 軸、快刀伺服 ±0.1°恒溫空調(diào) |