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詳細(xì)介紹
? 耐撞擊多孔石墨涂層空氣主軸 – 全轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)主軸跳動小于 12.5 納米，C 軸反饋分辨率為 0.01 弧秒；
? 業(yè)界*的激光全息線性光柵尺，反饋分辨率 8.4 皮米；
? 整體式復(fù)合大理石床身結(jié)構(gòu)，緊湊型空間設(shè)計，優(yōu)化空氣隔震系統(tǒng)（可選配自動調(diào)平阻斷式空氣隔震系統(tǒng)），提高熱穩(wěn)定性和減震性；
? 全約束式油靜壓導(dǎo)軌，提供平滑、高剛性和高減震能力的線性運(yùn)動性能；
| 規(guī)格 | 屬性 |
| 產(chǎn)品參數(shù) | |
| General | 450 |
| 大加工范圍 | 450x300mm |
| 編程分辨率 | 線性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001° |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | 50至10,000rpm（雙向） |
| 主軸精度 | 軸向：12.5nm 徑向：12.5nm |
| 加工精度 | 面型精度 (P-V):≤0.1μm/ 表面粗糙度 (Ra)≤2.0nm |
| 驅(qū)動 | 油靜壓導(dǎo)軌、直線電機(jī) |
| 選配 | C 軸、B 軸、Y 軸、快刀伺服 ±0.1°恒溫空調(diào) |
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