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詳細(xì)介紹
芯明天一維θz向壓電旋轉(zhuǎn)臺
壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進(jìn)行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉(zhuǎn)精度和超高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整。
芯明天一維θz向壓電旋轉(zhuǎn)臺P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，P21系列zui大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad，承載能力達(dá)2kg。
特性
• θz旋轉(zhuǎn)，角度位移達(dá)8.5mrad • 承載達(dá)2kg • 閉環(huán)定位精度高
• 響應(yīng)速度快 • 體積小巧
外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 閉環(huán)曲線 |
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小體積、高分辨率、高精度 | 頻率負(fù)載曲線 | 應(yīng)用實例-超精密旋轉(zhuǎn)定位 | |
P21 θz一維旋轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn)zui大8.5mrad的旋轉(zhuǎn)，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。 采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。 |
| P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用，組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。
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應(yīng)用
• 光路調(diào)整 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計量等
驅(qū)動控制方式
P21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺，單通道壓電控制器即可驅(qū)動控制，閉環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器，實現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。
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