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詳細(xì)介紹
E09.Cap電容非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。
CAP電容測微儀系列特性：
• 模塊化設(shè)計、自由組拼
• 可提供單個板卡模塊
• 高分辨率 • 模擬輸出
• 非接觸式測量
原理
它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標(biāo)形成的兩個電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬 時，傳感器仍是線性的。
應(yīng)用：
• Z向水準(zhǔn)測量 • X, Y向定位
• 軸向振動測量
• 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器
CAP電容測微儀系列技術(shù)參數(shù)
| 型號 | E09.Cap | 單位 |
| 量程范圍 | 0~200 | μm |
| 線性度 | ±0.1 | μm |
| 靜態(tài)分辨率 | 2.5 | nm |
| 動態(tài)分辨率（1kHz） | 100 | nm |
| 傳感器直徑 | 10 | mm |
| 小目標(biāo)直徑 | 10 | mm |
| 靜態(tài)重復(fù)性 | 5 | nm |
| 信號溫度穩(wěn)定性 | ＜ 0.005 | %FSO/℃ |
| *穩(wěn)定性 | ＜ 0.04 | %FSO/ 月 |
| 帶寬 | 2 | kHz（-3dB） |
| 工作溫度范圍 | +10~+50 | ℃ |
| 環(huán)境濕度 | <85 | % |
| 電壓輸出范圍 | 0~+10 | V |
| 供電電壓 | 220VAC 50Hz±10% |
|
| 傳感器線長 | 1.6 | m |
| 板卡尺寸：長×高× 深 | 35×130×180 | mm |
| 機箱尺寸：長×高× 深 | 280×170×360 | mm |
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