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詳細(xì)介紹
P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái)，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
特性：
• θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng) • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄
應(yīng)用實(shí)例
P54系列壓電偏擺臺(tái)以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光武器等領(lǐng)域。
典型應(yīng)用
• 光束掃描 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲
• 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)
• 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整
閉環(huán)傳感精度高
P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化，使角度偏移達(dá)到小，無(wú)空回、無(wú)摩擦。
采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad，分 辨率高達(dá)0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現(xiàn)0.1%F.S. 的重復(fù)定位精度。
臺(tái)體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為 80×80mm，P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計(jì)量、定位等應(yīng)用的選擇。
負(fù)載大鏡片
P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm，非常適用于需要透 射光的應(yīng)用，負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。
*控制器
| E01 | E72 | E70 |
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| 頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 163 | 頁(yè)碼 167 |
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| 3路輸出 | 3路輸出 | 3路輸出 |
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| 上位機(jī)通信、模擬、旋鈕 | 模擬、上位機(jī)通信 | 模擬與數(shù)字控制 |
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| 開環(huán)/閉環(huán) | 開環(huán)/閉環(huán) | 開環(huán)/閉環(huán) |
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| 平均功率7W/通道 | 平均功率6W/通道 | 平均功率5W/通道 |
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P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P54.T2S P54.T2K |
單位 |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx, θy |
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| 標(biāo)稱偏擺角度 (0~+120V) | ±0.8/ 軸 | mrad±20% | |
| 大偏擺角度 (-20~+150V) | ±1.1/ 軸 | mrad±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- |
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| 閉/開環(huán)偏擺分辨率 | 0.25/0.05 | μrad | |
| 閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 推/拉力 | 40/8 | N | |
| 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.5 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 300 | Hz±20% | |
| 閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 20/3.5 | ms±20% | |
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閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 |
Hz±20% |
| *行程 | 15 | ||
| 大承載 | 1 | kg | |
| 靜電容量 | 3.6/ 軸 | μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋁、鋼 |
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| 重量 | 510 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。
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