P83.X 一維X向 28μm-P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺-哈爾濱芯明天科技有限公司

參考價	面議

產(chǎn)品簡介

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺 P83為標(biāo)準(zhǔn)測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動，再通過控制驅(qū)動電壓，使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。

詳細(xì)介紹

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺，宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)完成大范圍精密定位需求。

配套宏動臺可以組成1-3維大行程位移臺

通過測微頭與壓電微調(diào)機(jī)構(gòu)相結(jié)合的方式實現(xiàn)宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)，宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可以與宏動平臺配合使用，組成大行程高精度壓電平移臺。

供貨周期

2~3周發(fā)貨

P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺參數(shù)介紹

型號		P83.X25S	P83.X25K	單位
運(yùn)動自由度		X	X
行程范圍		13mm+28µm	13mm+28µm	粗調(diào)+精調(diào)
平直度		<3	<3	µm/13mm
重量		500	500	g±5%
殼體材料		鋼	鋼
外形尺寸（長×寬×高）		114×80×23	114×80×23	mm×mm×mm
手動調(diào)節(jié)部分-千分尺
粗調(diào)行程范圍		13	13	mm
粗調(diào)分辨率（千分尺）		10	10	µm
導(dǎo)軌		交叉滾柱導(dǎo)軌	交叉滾柱導(dǎo)軌
驅(qū)動方式		螺紋副（分厘卡）	螺紋副（分厘卡）
千分尺靈敏度		<2	<2	µm
臺面尺寸		65×65	65×65	mm×mm
千分尺讀數(shù)		10	10	（微米/格）
千分尺螺距		0.5	0.5	mm/rev.
壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動
精調(diào)行程范圍	0~120 V, Nominal	20	20	µm±20%
精調(diào)行程范圍	-20~150 V, Max	28	28	µm±20%
傳感器類型		SGS	-
步進(jìn)/分辨率		1.5	0.5	nm, typ.
閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動)		0.2	-	%F.S.
重復(fù)定位精度		0.1	-	%F.S.
運(yùn)動方向推力		20	20	N
剛度		2	2	N/µm±20%
承載能力（Z向）*		1000	1000	g
工作溫度范圍**		-20~80	-20~80	°C
靜電容量		1.8	1.8	µF±20%
重量（含載物平臺）		400	400	g±5%
出線長		1.5	1.5	m±10mm
傳感/電壓連接器		LEMO	LEMO