三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 6.8μm價(jià)格 P63系列壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有非常高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響。

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 6.8μm價(jià)格為小體積1~3維壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有非常高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，且壓電平臺(tái)體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 6.8μm價(jià)格

特性

• 1~3維自由組合 • 位移行程6.8μm • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • 承載0.4kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級

小體積、高精度、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
P63系列壓電納米定位臺(tái)非常重要的特點(diǎn)是精度高、體積小巧，P63.XYZ三維壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的尺寸僅為30×30×42mm（一維X軸運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)尺寸為30×30×21mm），易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺(tái)是高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，慣性低，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率的高速掃描。

應(yīng)用 • 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計(jì)量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制