P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運(yùn)動(dòng)精度和高穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運(yùn)動(dòng)精度和高穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32系列Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及Z軸直線升降運(yùn)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可實(shí)現(xiàn)6mrad偏轉(zhuǎn)，Z軸37.5μm的直線運(yùn)動(dòng)。

特性 P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm

• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)及Z向升降運(yùn)動(dòng)，偏轉(zhuǎn)角度25mrad，直線位移37.5μm • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

高分辨率、高穩(wěn)定性及動(dòng)態(tài)性	結(jié)構(gòu)原理
P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積緊湊，內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電促動(dòng)器，集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統(tǒng)的壓電促動(dòng)器提供好的性能及可靠性。 P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的壓電陶瓷直驅(qū)式三腳架結(jié)構(gòu)，數(shù)十億次的運(yùn)動(dòng)周期操作而*或性能下降，非常適合工業(yè)應(yīng)用。 三腳架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在較大的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。這種設(shè)計(jì)具有體積小巧、兩軸具有相同的大小及動(dòng)態(tài)性能、快的響應(yīng)速度及好的線性度等優(yōu)勢(shì)，也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。	P32偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)而成的，由三支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，以120°角平分放置，采用坐標(biāo)變換，運(yùn)動(dòng)可以分不同機(jī)構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)除了可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的傾斜，也可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)Z向的直線移動(dòng)，可以用于校正光學(xué)路徑長(zhǎng)度。其中， A、B、C表示測(cè)量的3點(diǎn)處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計(jì)算公式分別如下，

驅(qū)動(dòng)控制

P32壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)θxθy兩軸采用90。相差輸入，與Z向升降運(yùn)動(dòng)配合，再通過控制電壓的大小，對(duì)一定的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。