CA90圓柱度儀

　　主軸軸向誤差

　　X=到主軸中心間隔±(0.03+6X/10000)μm

　　工作臺(tái)

　　臺(tái)面直徑φ260mm

　　調(diào)整規(guī)模調(diào)偏疼±2mm;調(diào)水平±1°

　　反轉(zhuǎn)直徑φ500mm

　　旋轉(zhuǎn)速度0-12轉(zhuǎn)/分

　　Z軸（立柱）

　　直線度（窄規(guī)模）0.5μm/100mm

　　直線度（全規(guī)模）0.8μm/400mm

　　光柵分辨率無(wú)

　　反轉(zhuǎn)軸線與Z軸導(dǎo)軌平行度

　　反轉(zhuǎn)軸線與

　　Z軸導(dǎo)軌平行度2μm/500mm(母線基準(zhǔn))

　　水平臂（橫導(dǎo)軌）

　　移動(dòng)精度2μm/150mm

　　水平移動(dòng)間隔200mm

　　光柵分辨率無(wú)

　　傳感器

　　量程500μm(半徑差)

　　分辨率0.005μm

　　測(cè)針形狀2mm寶石球測(cè)頭（有更多直徑可選擇）

　　測(cè)力1-12g

　　數(shù)據(jù)收集

　　數(shù)據(jù)收集14400點(diǎn)/周（用）

　　擴(kuò)大倍率

　　擴(kuò)大倍率20萬(wàn)倍主動(dòng)

　　評(píng)定辦法

　　評(píng)定辦法LSC（zui小二乘法）、MZC（zui小區(qū)域法）、

　　MIC（zui大內(nèi)切圓法）、MCC（zui小外接圓法）

　　濾波值

　　濾波值1-500、1-150、1-50、1-15、3-16、3-17、15-500、17-100 upr

　　數(shù)據(jù)剖析處理

　　頻譜剖析剖析不同頻率成分的幅值

　　反常數(shù)據(jù)除掉手動(dòng)或主動(dòng)除掉反常數(shù)據(jù)，如毛刺、孔及凸點(diǎn)等

　　文件辦理測(cè)量數(shù)據(jù)主動(dòng)保存，可刪除

　　數(shù)據(jù)打印可選用單個(gè)或多個(gè)測(cè)量成果同頁(yè)打印模式

　　安裝要求

　　電源220-240V AC,50HZ，獨(dú)自地線；zui大功率耗費(fèi)450W

　　壓縮空氣純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，耗費(fèi)0.1m3/min（氣源供給0.6MP，0.25m3/min以上）

　　環(huán)境要求工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露），良好地線，無(wú)顯著振源