美國(guó)ZYGO白光干涉儀8300

　　NewView 8300系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)壯的多功能的非觸摸式光學(xué)表面描摹丈量剖析。一切的丈量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強(qiáng)壯的剖析軟件可以準(zhǔn)確的描繪和定量剖析表面粗糙度、臺(tái)階高度、要害標(biāo)準(zhǔn)和其它描摹特征。使用zygo的相干掃描干與技能，NewView 8300系列輪廓儀可以很簡(jiǎn)單的丈量各種材質(zhì)表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。

　　系統(tǒng)參數(shù)：

　　◆原理:非觸摸、三維白光掃描干與儀

　　◆掃描設(shè)備:閉環(huán)反應(yīng)壓電陶瓷，高線性電容傳感器

　　◆視場(chǎng):規(guī)范配置：0.04-16mm，跟物鏡和擴(kuò)大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技能可以得到更大規(guī)劃

　　◆視場(chǎng)擴(kuò)大倍率：高質(zhì)量分立擴(kuò)大倍率鏡頭：0.5X,0.75X,1X（標(biāo)配），1.5X,2.0X

　　◆光源:均勻成像，高效率，特別規(guī)劃長(zhǎng)壽命白光LED

　　◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

　　◆控制:濾光板托架，視場(chǎng)光闌（輔助集合）

　　◆丈量陣列:標(biāo)配1024×1024像素；可選分辨率：512×512，1024X160像素

　　◆樣件查詢:液晶顯示屏實(shí)時(shí)查詢

　　◆精細(xì)集合:電控手動(dòng)和主動(dòng)集合

　　◆Z軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，100mm行程,0.1μm精度

　　◆標(biāo)準(zhǔn):系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)：151×73×61cm，NewView：75×64×56cm，隔振途徑：76X61X61mm

　　◆分量:系統(tǒng)分量：約229Kg

　　◆輸入電壓:100-240VAC,50/60 Hz

　　◆計(jì)算機(jī):帶液晶顯示器的高性能DELL計(jì)算機(jī)

　　◆軟件:ZYGO MX軟件

　　◆物鏡座:標(biāo)配：可快速裝卸單物鏡夾具,選配：手動(dòng)4位塔臺(tái)和電動(dòng)4位塔臺(tái)

　　◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

　　◆塔臺(tái):手動(dòng)6位塔臺(tái)；電控64位塔臺(tái)；

　　◆樣品臺(tái):俯仰(±4°)和XY平移(100mm)和電動(dòng)/俯仰(±4°)和XY平移(150mm)電動(dòng)可選

　　◆縱向掃描規(guī)劃:150μm，拓寬掃描方式可到20mm,

　　◆縱向分辨率＜0.1nm,橫向分辨率0.34μm（100X物鏡下）

　　◆掃描速度≤96μm/sec,與所選的CCD和掃描方式有關(guān)

　　◆zui大數(shù)據(jù)點(diǎn):規(guī)范307200；可選984064；

　　◆RMS重復(fù)性＜0.01 nm，RMSσ

　　◆臺(tái)階丈量：準(zhǔn)確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1% 1σ

　　◆傾斜表面丈量：光滑表面55度，散射表面86度。

　　◆測(cè)樣品特性:各種資料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

　　◆反射率:0.5-*

　　◆zui大標(biāo)準(zhǔn):89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));