型號(hào)

VX3030

VX3100

VX3200

圖像傳感器

500萬像素CMOS

顯示器

機(jī)身顯示器

10.4英寸 LCD顯示器（XGA：1024×768）

外接顯示器

24英寸 LCD顯示器（XGA：1920×1080）

受光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

落射系統(tǒng)

四分割照明（白光）

透射系統(tǒng)

遠(yuǎn)心透過照明（綠色）

視野mm

20×L120

Φ100×L200

200×200

（4角R50）

重復(fù)精度μm

±1μm

±2μm

測(cè)量精度μm

無拼接*¹

±2μm

±5μm

有拼接*²

±(4+0.02L) μm

±(7+0.02L)μm

測(cè)量軟件

VisionX

顯示分辨率

0.1μm

支持觸發(fā)測(cè)頭

不支持

支持

XY電動(dòng)座標(biāo)臺(tái)

X移動(dòng)范圍

100mm

Y移動(dòng)范圍

————————————

100mm

承重

2kg

2kg

5kg

Z向移動(dòng)范圍

35mm(電動(dòng))

75mm(電動(dòng))

外形尺寸(L×W×H) mm

500×260×635

500×260×635

500×325×700

重量

30kg

31kg

40kg

工作電源

AC220V/50Hz

工作環(huán)境

溫度10℃~35℃，濕度30~80%，振動(dòng)<0.002g，低于15Hz