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詳細(xì)介紹
- 用途
- 技術(shù)參數(shù)
用途：
INSPECT系列測(cè)量金相顯微鏡適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域。
儀器特點(diǎn)：
■高精度大理石底座和立柱、有效保證*的穩(wěn)定性及剛性
■大理石工作臺(tái)設(shè)計(jì)、配合精密V型交叉導(dǎo)軌、*使用不會(huì)變形，有效保證*的機(jī)械精度
■高品質(zhì)光學(xué)系統(tǒng)和高分辨率CCD，確保擁有高品質(zhì)的測(cè)量畫(huà)面
■三環(huán)八區(qū)LED環(huán)形表面冷光源及輪廓光源、避免燈光發(fā)熱而影響精密工件的變形
■測(cè)量金相顯微鏡可選配日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪
■自主研發(fā)影像測(cè)量?jī)x軟件、功能強(qiáng)大、操作簡(jiǎn)單
INSPECT系列測(cè)量金相顯微鏡適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域。
儀器特點(diǎn)：
■高精度大理石底座和立柱、有效保證*的穩(wěn)定性及剛性
■大理石工作臺(tái)設(shè)計(jì)、配合精密V型交叉導(dǎo)軌、*使用不會(huì)變形，有效保證*的機(jī)械精度
■高品質(zhì)光學(xué)系統(tǒng)和高分辨率CCD，確保擁有高品質(zhì)的測(cè)量畫(huà)面
■三環(huán)八區(qū)LED環(huán)形表面冷光源及輪廓光源、避免燈光發(fā)熱而影響精密工件的變形
■測(cè)量金相顯微鏡可選配日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪
■自主研發(fā)影像測(cè)量?jī)x軟件、功能強(qiáng)大、操作簡(jiǎn)單
- 技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | INSPECT300 | INSPECT400 | INSPECT500 | ||||
X、Y軸行程（mm） | 300*200 | 400*300 | 500*400 | ||||
載物臺(tái)玻璃尺寸(mm) | 357*257 | 457*357 | 557*457 | ||||
Z軸行程（mm） | 100 | ||||||
X、Y、Z軸分辨率 (μm) | 1 | ||||||
長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn) | 光柵位移傳感器 | ||||||
精度 (μm) | 2.5+L/150 L=被測(cè)工件長(zhǎng)度，單位：mm | ||||||
儀器操作 | 手動(dòng) | ||||||
圖像檢測(cè)裝置 | 高分辨率CCD攝像機(jī) | ||||||
五段變倍鼻輪物鏡倍數(shù) | 5X | 10X | 20X | 50X | |||
目鏡 | WF10X | ||||||
測(cè)量軟件 | 專(zhuān)業(yè)2D測(cè)量軟件 | ||||||
光源 | 反射照明 | 同軸落射光源 | |||||
透射照明 | LED平行透射光源 | ||||||
電源 | AC100~240V 50/60Hz | ||||||
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