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白光干涉儀和激光干涉儀有何區(qū)別
點(diǎn)擊次數(shù)：113 發(fā)布時間：2023-2-14
激光干涉儀和白光干涉儀雖然都同屬于干涉儀這個大類，但是兩者的區(qū)別可大了！下面泉田機(jī)電帶大家來看看兩者到底有什么區(qū)別。
激光干涉儀
激光干涉儀測量利用的是邁克爾遜干涉原理：
(1) 從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
(2) 兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
(3) 角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。
根據(jù)激光干涉儀的原理，我們可以清楚知道，激光干涉儀是用來檢測設(shè)備的運(yùn)動精度的，SJ6000激光干涉儀目前在機(jī)床、直線電機(jī)、滑臺、模組、自動化設(shè)備、機(jī)器人等領(lǐng)域應(yīng)用。
白光干涉儀
白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。SuperView W1白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
以上就是泉田機(jī)電小編給大家分享的激光干涉儀和白光干涉儀的區(qū)別，上海泉田機(jī)電有限公司是一家集銷售精密測量儀器及售后服務(wù)于一體的專業(yè)服務(wù)商。公司成立于2012年，我們始終堅持秉承“技術(shù)*、服務(wù)完善"的經(jīng)營理念，以優(yōu)秀的技術(shù)人才為基礎(chǔ)，憑借豐富的測量經(jīng)驗(yàn)和雄厚的技術(shù)力量，結(jié)合國際上的*技術(shù)，為您提供完整的測量解決方案、優(yōu)質(zhì)的專業(yè)設(shè)備等綜合服務(wù)。咨詢，聯(lián)系電話： ；