帶0.1μm/0.4μm分辨力/重復(fù)精度的指示精度可達(dá)(1.1+0.6L/600)μm。
　　高精度測(cè)高儀加入了廣泛的測(cè)量功能。
　　為了達(dá)到的精度，使用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌。
　　測(cè)量可以通過(guò)圖標(biāo)命令來(lái)執(zhí)行，同時(shí)，也支持一鍵操作，保證正面的垂直度為5μm，直線度為4μm。
　　使用TFT液晶顯示屏，以達(dá)到完美的可視性和可操作性。氣體全浮/半浮系統(tǒng)可以進(jìn)行空氣浮動(dòng)高度調(diào)整。
　　配有基本的統(tǒng)計(jì)功能，另外，RS-232C數(shù)據(jù)輸出可通過(guò)連接計(jì)算機(jī)上的SPC軟件，進(jìn)行外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估(可選)。
　　數(shù)據(jù)備份/恢復(fù)，測(cè)量工件程序可通過(guò)USB存儲(chǔ)設(shè)備來(lái)執(zhí)行(FAT16/32兼容格式)。測(cè)量范圍:0-977mm滑動(dòng)行程:600mm分辨力(可切換):0.0001/0.001/0.01/0.1mm20oC時(shí)精度*1:(1.1+0.6L/600)μmL為大測(cè)量長(zhǎng)度(mm)
　　重復(fù)精度(2σ)*1:平面:0.4μm，孔:0.9μm
　　垂直度*2:5μm(補(bǔ)正后)
　　直線度*2:4μm(機(jī)械直線)
　　驅(qū)動(dòng)方式:手動(dòng)/電動(dòng)(5-40mm/s,7級(jí))
　　測(cè)力:1N
　　平衡方式:配重(自動(dòng)恒壓裝置)
　　浮動(dòng)方式:帶有內(nèi)置空氣壓縮機(jī)的全/半浮動(dòng)
　　顯示:5.7英寸彩色TFT液晶顯示
　　顯示語(yǔ)言:日語(yǔ)、英語(yǔ)、德語(yǔ)、法語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、荷蘭語(yǔ)、葡萄牙語(yǔ)、瑞典語(yǔ)、捷克語(yǔ)、匈牙利語(yǔ)、斯諾文尼亞語(yǔ)、波蘭語(yǔ)、繁體中文、簡(jiǎn)體中文、韓語(yǔ)。
　　可存儲(chǔ)程序:可達(dá)50個(gè)測(cè)量程序
　　可存儲(chǔ)數(shù)據(jù):可達(dá)60,000個(gè)測(cè)量數(shù)
　　電源:AC適配器/電池(Ni-MH)
　　電池操作時(shí)間:大約5小時(shí)
　　(空氣浮動(dòng)和滑塊占儀器工作量的25%的情況下)
　　*1使用標(biāo)準(zhǔn)5偏心測(cè)頭
　　*2使用杠桿測(cè)頭(MLH-521)或Mu-checker(M-511