Verios 5 XHR SEM掃描電鏡

Verios 5 XHR SEM掃描電鏡采用好的材料對比度在全 1 keV-30 keV 能量范圍內(nèi)提供亞納米級分辨率。自動化和易用性使任何經(jīng)驗水平的用戶都能使用該性能。

體驗 Verios XHR SEM掃描電鏡所提供的優(yōu)勢：

• 使用行業(yè)*的電子源單色器UC+實現(xiàn)高分辨率納米材料成像，可在 1-30 kV 范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米性能。
• 對電子束敏感材料性能好，具有 20 eV 著陸能量和高靈敏度電子鏡筒內(nèi)和透鏡下檢測器以及信號過濾，可實現(xiàn)在低劑量條件下獲取超高分辨率和高信噪比圖像。
• 憑借采用 SmartAlign 和 FLASH 技術的 Elstar 電子束鏡筒，可大大縮短各種經(jīng)驗水平的用戶獲得納米級信息的時間。
• 借助 ConstantPower 透鏡、靜電掃描和兩種高精度壓電陶瓷載物臺的選擇，獲得一致的測量結(jié)果。
• 配備大腔室，配件的靈活性高。
• 使用 Thermo Scientific AutoScript 4 軟件（可選配的基于 Python 的應用程序編程界面）實現(xiàn)儀器無人自動化 SEM 操作。

Verios 5 XHR SEM掃描電鏡的主要特點

SmartAlign 技術

使用 SmartAlign 技術時，用戶無需對電子束鏡筒進行任何對中，這不僅能大限度地減少維護，還能提高電鏡生產(chǎn)率。

亞納米級分辨率

Elstar Schottky 電子源單色器（UC+）FESEM 技術和性能，實現(xiàn)從 1 至 30 keV 的亞納米級分辨率。

低劑量操作和較佳對比度選擇

結(jié)合了*的高靈敏度、鏡筒內(nèi) & 透鏡下探測器和信號過濾功能 可實現(xiàn)低劑量操作和較佳襯度選擇。

無人照看的 SEM 運行

借助 AutoScript 4 軟件，可選配基于 Python 的應用程序編程界面 (API)。

創(chuàng)新的電子光學系統(tǒng)

包括 Thermo Scientific 獲得的 UC+（單色器）電子槍、ConstantPower 透鏡和靜電掃描，可實現(xiàn)準確穩(wěn)定的成像。

一致的測量結(jié)果

Verios 掃描電鏡非常適合實驗室計量應用，能夠在高放大倍數(shù)下校準經(jīng) NIST 認證的標準品。

輕松訪問射束著陸能量

低至 20 eV 也可實現(xiàn)用于表面表征的高分辨率。

大腔室

可從兩種高準確穩(wěn)定的壓電陶瓷驅(qū)動樣品臺中進行選擇。