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詳細(xì)介紹
378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的特點(diǎn)
1.此光學(xué)系統(tǒng)初是為的FS60型（后升為FS70型）而開(kāi)發(fā)的。它作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
2.FS70L支持3種YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，F(xiàn)S70L4支持2種波長(zhǎng)（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對(duì)顯微鏡的激光穖的性能和安全性，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們*在選購(gòu)激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。
3.FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場(chǎng)，微分干涉對(duì)比（DIC）和偏振觀測(cè)。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。
5.易操作的設(shè)計(jì)：FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場(chǎng)中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。
378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的性能參數(shù)
型號(hào) | FS-70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | JS70L4-TH |
貨號(hào) | 378-184-1 | 378-184-3 | 378-185-1 | 378-185-3 | 378-186-1 | 378-186-3 | 378-187-1 | 378-187-3 |
短基座型號(hào) | FS70-S | FS70-THS | FS70Z-S | FS70Z-THS | FS70L-S | FS70L-THS | FS70L4-S | FS70L4-THS |
貨號(hào) | 378-184-2 | 378-184-4 | 378-185-2 | 378-185-4 | 378-186-2 | 378-186-4 | 378-187-2 | 378-187-4 |
對(duì)焦 | 50mm行程，同心焦距粗調(diào)（3.8mm/rev)和微調(diào)（0.1mm/rev)手輪（左、右0） | |||||||
圖像 | 正像 | |||||||
瞳距 | Siedentopf型、調(diào)節(jié)范圍 | |||||||
視場(chǎng)數(shù) | 24 | |||||||
俯角 |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
透過(guò)率 | 50/50 | 100/0或0/100 | 50/50 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 |
管鏡頭 |
| 內(nèi)置激光射線濾光片 | ||||||
適用激光 | 1× | 1× | 1× | 2×zoom | 1× | 1× | 1× | 1× |
適用激光 |
|
|
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| 1064/532/355mm | 532/355mm | ||
相機(jī)端口 | C-mount(使用適配器B選件） | 使用帶有電視端口的激光片 | C-mount插座（帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)） | |||||
照明系統(tǒng)、可選 | 亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶光圈） 12V 100W光纖、無(wú)亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長(zhǎng)度：1.5m、功耗150W | |||||||
物鏡、可選 | M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
物鏡、可選 |
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| M/LCD Plan NIR M/L CD Plan NUV | M Plan UV | M Plan UV | |
載重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg |
重量（主機(jī)） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg |
378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的技術(shù)參數(shù)
對(duì)焦
方法：有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）
范圍：50mm測(cè)量范圍，微調(diào)0.1mm/rev同心粗調(diào)3.8mm/rev
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調(diào)節(jié)范圍：51-76mm
視場(chǎng)數(shù)：24
俯角：0°-20°(僅用于-TH，THS型號(hào)）
照明系統(tǒng)：亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶光圈）
光源：12V100W光纖、無(wú)亮度調(diào)節(jié) ），光導(dǎo)長(zhǎng)度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
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