高純度氣體輸送系統(tǒng)壓力變送器美國西特 

高純度氣體輸送系統(tǒng)壓力變送器美國西特

·氣柜
Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高*穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點和量程微調(diào)的 12 圈電位計。標(biāo)準的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。 GCT-225 系列產(chǎn)品提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進行電氣連接。

GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。 Setra *的定制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/RFI 干擾。

在制造和裝配完成后， Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣充注和密封等處理，蕞后才發(fā)貨。

注 ： Setra 的質(zhì)量標(biāo)準是根據(jù) ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有 NIST 可追蹤性，美國磚利號。
泄露率低

 VCR 接頭

 易于吹掃的小腔室

 200PSI/250PSI/3000PSI

特性

·316 L VIM/VAR 不銹鋼

·表面拋光度 7 Ra

·VCR 接頭

·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗

·堅固耐用，*安裝

·4-20mA 輸出型獲得不易燃認證，適用于潛在危險區(qū)域

·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準要求

 泄露率低
VCR 接頭
易于吹掃的小腔室

應(yīng)用

·高純度氣體輸送系統(tǒng)

·半導(dǎo)體過程工具

·氣柜

性能參數(shù)                           物理參數(shù)                    電氣參數(shù)（電壓）

精度 RSS 1 (恒溫下±0.25%FS       殼體 不銹鋼           電路 3 線 (COM, OUT, EXC)

非線性（蕞佳擬合直線）±0.15%FS  電氣連接 6 英尺 /1.8 米多芯電纜4 針卡口接頭

輸出 4 0~ 5 VDC 或 0.2~ 5.2VDC5

遲滯 0.20%FS 0~ 10VDC 或 0.2~ 10.2VDC5

壓力接口 #4 外螺紋 / 內(nèi)螺紋端面密封旋轉(zhuǎn)接頭，

溫度影響 2 1/4"NPT 外螺紋接頭或管接頭     激勵 5V FSO 10V FSO（滿量程輸出）時為 （滿量程輸出）時為10~30 VDC 13~30 VDC

溫度補償范圍 -9~65℃ 通氣 通過外殼 輸出電阻 10Ω

零點 / 滿程漂移 1.8% (%FS/50℃） 內(nèi)腔體積 0.11in3 暖機漂移 總誤差 ±0.1% FS

泄漏試驗：使用質(zhì)譜儀進行 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級別的氦滲

漏試驗 接液部件 VIM/VAR 316L 7Ra（蕞大 10 Ra 不銹鋼，電解拋光至 ）

 功耗 0.03 W

壓力介質(zhì) 重量 約 113g 電氣參數(shù)（電流）

與 316L 不銹鋼兼容的液體或氣體 環(huán)境參數(shù) 電路 2 線

認證 工作溫度 3 -40℃ ~+85℃ 輸出 6 4~20mA 7

不易燃認證：適用于潛在危險區(qū)域的認證： 儲存溫度 -40℃ ~+85℃ 外部負載 0-800Ω

北美：可選 ETL 認證，適用于 ANSI/ISA-12.2.01-2011 標(biāo)準

中列出的 1 類 2 區(qū) A、 B、 C、 D 組危險區(qū)域（選擇 N1 選項）

電流輸出型

（訂購 N1 選項時） -30℃ ~+80℃ （工作 / 儲存溫度） 蕞小供電電壓 （VDC） 10+0.02x（接收器附加導(dǎo)線電阻）

歐洲：可選用于標(biāo)準 EN60079-0:2012 的 ATEX 94/9/EC 2

區(qū)認證或 EN60079-15:2010 11 3G Ex nA IIC T4 Gc -30℃ <

Ta<+ 80℃認證（選擇 N1 選項）

蕞大供電電壓（VDC） 30+0.004x（接收器附加導(dǎo)線電阻）

功耗 <0.9 W

尺寸圖

 1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的 RSS 值（方和根）。

 2. 產(chǎn)品在 21℃進行標(biāo)定，蕞大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)計算。

 3. *電子元件的工作溫度限制，壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低。

 4. 采用 50KΩ 負載進行標(biāo)定，可在負載 ≥ 5KΩ 時工作。

 5. 零點（滿量程）輸出 ：對于 5 VDC 電源，出廠設(shè)置在 ±25mV 以內(nèi) ；對于 10 VDC 電源，出廠設(shè)置在 ±50 mV 以內(nèi)。

 6. 出廠標(biāo)定時采用 250Ω 負載， 24 VDC 電源。

 7. 零點輸出的出廠設(shè)置在 ±0.08mA 以內(nèi)，滿量程輸出的出廠設(shè)置在 ±0.16mA 以內(nèi)。