高純度氣體輸送系統(tǒng)壓力變送器美國(guó)西特 

高純度氣體輸送系統(tǒng)壓力變送器美國(guó)西特

·氣柜
Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門(mén)設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過(guò)程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高*穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的 12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。 GCT-225 系列產(chǎn)品提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進(jìn)行電氣連接。

GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測(cè)到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號(hào)。 Setra *的定制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/RFI 干擾。

在制造和裝配完成后， Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾摺⒑娓伞㈦p層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚恚┖蟛虐l(fā)貨。

注 ： Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù) ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有 NIST 可追蹤性，美國(guó)磚利號(hào)。
泄露率低

 VCR 接頭

 易于吹掃的小腔室

 200PSI/250PSI/3000PSI

特性

·316 L VIM/VAR 不銹鋼

·表面拋光度 7 Ra

·VCR 接頭

·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)

·堅(jiān)固耐用，*安裝

·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域

·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求

 泄露率低
VCR 接頭
易于吹掃的小腔室

應(yīng)用

·高純度氣體輸送系統(tǒng)

·半導(dǎo)體過(guò)程工具

·氣柜

性能參數(shù)                           物理參數(shù)                    電氣參數(shù)（電壓）

精度 RSS 1 (恒溫下±0.25%FS       殼體 不銹鋼           電路 3 線 (COM, OUT, EXC)

非線性（蕞佳擬合直線）±0.15%FS  電氣連接 6 英尺 /1.8 米多芯電纜4 針卡口接頭

輸出 4 0~ 5 VDC 或 0.2~ 5.2VDC5

遲滯 0.20%FS 0~ 10VDC 或 0.2~ 10.2VDC5

壓力接口 #4 外螺紋 / 內(nèi)螺紋端面密封旋轉(zhuǎn)接頭，

溫度影響 2 1/4"NPT 外螺紋接頭或管接頭     激勵(lì) 5V FSO 10V FSO（滿量程輸出）時(shí)為 （滿量程輸出）時(shí)為10~30 VDC 13~30 VDC

溫度補(bǔ)償范圍 -9~65℃ 通氣 通過(guò)外殼 輸出電阻 10Ω

零點(diǎn) / 滿程漂移 1.8% (%FS/50℃） 內(nèi)腔體積 0.11in3 暖機(jī)漂移 總誤差 ±0.1% FS

泄漏試驗(yàn)：使用質(zhì)譜儀進(jìn)行 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氦滲

漏試驗(yàn) 接液部件 VIM/VAR 316L 7Ra（蕞大 10 Ra 不銹鋼，電解拋光至 ）

 功耗 0.03 W

壓力介質(zhì) 重量 約 113g 電氣參數(shù)（電流）

與 316L 不銹鋼兼容的液體或氣體 環(huán)境參數(shù) 電路 2 線

認(rèn)證 工作溫度 3 -40℃ ~+85℃ 輸出 6 4~20mA 7

不易燃認(rèn)證：適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域的認(rèn)證： 儲(chǔ)存溫度 -40℃ ~+85℃ 外部負(fù)載 0-800Ω

北美：可選 ETL 認(rèn)證，適用于 ANSI/ISA-12.2.01-2011 標(biāo)準(zhǔn)

中列出的 1 類 2 區(qū) A、 B、 C、 D 組危險(xiǎn)區(qū)域（選擇 N1 選項(xiàng)）

電流輸出型

（訂購(gòu) N1 選項(xiàng)時(shí)） -30℃ ~+80℃ （工作 / 儲(chǔ)存溫度） 蕞小供電電壓 （VDC） 10+0.02x（接收器附加導(dǎo)線電阻）

歐洲：可選用于標(biāo)準(zhǔn) EN60079-0:2012 的 ATEX 94/9/EC 2

區(qū)認(rèn)證或 EN60079-15:2010 11 3G Ex nA IIC T4 Gc -30℃ <

Ta<+ 80℃認(rèn)證（選擇 N1 選項(xiàng)）

蕞大供電電壓（VDC） 30+0.004x（接收器附加導(dǎo)線電阻）

功耗 <0.9 W

尺寸圖

 1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的 RSS 值（方和根）。

 2. 產(chǎn)品在 21℃進(jìn)行標(biāo)定，蕞大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)計(jì)算。

 3. *電子元件的工作溫度限制，壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低。

 4. 采用 50KΩ 負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定，可在負(fù)載 ≥ 5KΩ 時(shí)工作。

 5. 零點(diǎn)（滿量程）輸出 ：對(duì)于 5 VDC 電源，出廠設(shè)置在 ±25mV 以內(nèi) ；對(duì)于 10 VDC 電源，出廠設(shè)置在 ±50 mV 以內(nèi)。

 6. 出廠標(biāo)定時(shí)采用 250Ω 負(fù)載， 24 VDC 電源。

 7. 零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在 ±0.08mA 以內(nèi)，滿量程輸出的出廠設(shè)置在 ±0.16mA 以內(nèi)。