精確可重復(fù)的高精度真空計(jì)美國(guó)西特Model 760

精確可重復(fù)的高精度真空計(jì)美國(guó)西特Model 760 

Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為精確的、可重復(fù)的真空測(cè)量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從 10Torr 到1000Torr。 測(cè) 量 單 位 可 以 是 Torr， mbar/hpa， kpa 或psia。 Model 760 的工作電壓是 15VDC，輸出 0~10VDC或0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無(wú)關(guān)。

電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 15 針 D 型插座或 6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和 ESD 抑制元件以及輸入輸出的 RFI 過(guò)濾等技術(shù)， Model 760 具有出眾的 EMI/RFI 性能。

Model 760 有一個(gè)完整的滑面，很容易提供有精確的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測(cè)量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。

Model 760 中高精度的壓力傳感元件 VactronTM pressuresensor，是在 Setra 磚利技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來(lái)的。在敏感元件*有一個(gè)饋入裝置組件支持一個(gè)鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個(gè)低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個(gè)可變電容。這一電容的變化被 Setra*的集成電路檢測(cè)并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號(hào)，該集成電路是根據(jù)西特磚利技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。

Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。 Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。適用于與 Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體壓力范圍： 0~10 Torr 至 0~1000Torr，

0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa

0~2 psia 至 0~20psia，

0~2 kpa 至 0~100kpa

注： Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的

標(biāo)定源于 NIST

特性

· 高精度：標(biāo)準(zhǔn) ±0.25% of Reading ，可選 ±0.15%

· 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)

· 多種壓力連接和電氣連接方式

· 符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

 出眾的 EMI/RFI 性能

 耐腐蝕的 Inconel ® 設(shè)計(jì)

 出色的熱穩(wěn)定性

壓力范圍： 0~10 Torr 至 0~1000Torr，

0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa

0~2 psia 至 0~20psia，

0~2 kpa 至 0~100kpa

注： Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的

標(biāo)定源于 NIST。

電壓輸出MODEL760美國(guó)西特SETRA   絕隊(duì)壓力變變送器

電路4線

激勵(lì)±15VDC,調(diào)整范圍±5％

輸出0-10VDC或0-5VDC

功耗<0.5W(<15mA)

分辨率 無(wú)限的，僅受輸出噪聲的限制（0.01%FS）

耐壓 45 psia

時(shí)間常數(shù) <20ms

環(huán)境參數(shù)

工作溫度0～+50℃

存儲(chǔ)溫度-50～+125℃

溫度影響

補(bǔ)償范圍0～+50℃(+32～+122℉)

零點(diǎn)漂移±0.005%FS/℃

量程漂移±0.027%RDG/℃

MODEL760的物理參數(shù)

殼體鋁合金

電氣連接15針D型插座或6位螺紋接線端子

壓力連接見(jiàn)訂購(gòu)信息

壓力介質(zhì)與InconelRRRRR或Inconel/不銹鋼相容的氣體.Inconel濕部件僅配0.5管的接頭,選擇其它的接頭增加不銹鋼.

重量(約)260克(約9盎司)

零點(diǎn)/滿程調(diào)節(jié)多匝電位計(jì)(在滑面底部)

腔體體積<6立方厘米

性能參數(shù)

精度A±0.25%ofReading

精度B±0.15%ofReading

耐壓45psia

分辨率無(wú)限,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)

時(shí)間常數(shù)<20ms

應(yīng)用

· 半導(dǎo)體過(guò)程工具和設(shè)備

· 實(shí)驗(yàn)室和研究開(kāi)發(fā)

· 實(shí)驗(yàn)和測(cè)量

· 度量

· 分析化學(xué)系統(tǒng)