三坐標(biāo)測量機(jī)除用于空間尺寸及形位誤差的測量外，應(yīng)用坐標(biāo)測量機(jī)對(duì)未知數(shù)學(xué)模型的復(fù)雜曲面進(jìn)行測量，提取復(fù)雜曲面的原始形狀信息，重構(gòu)被測曲面，實(shí)現(xiàn)被測曲面的數(shù)字化，不僅是坐標(biāo)測量機(jī)應(yīng)用的一個(gè)重要領(lǐng)域，也是反求工程中的關(guān)鍵技術(shù)之一，近年來也得到快速發(fā)展。
1．
測頭的分類
測量頭作為測量傳感器，是坐標(biāo)測量系統(tǒng)中非常重要的部件。
三坐標(biāo)測量機(jī)的工作效率、精度與測量頭密切相關(guān)，沒有*的測量頭，就無法發(fā)揮測量機(jī)的功能。坐標(biāo)測量機(jī)的發(fā)展促進(jìn)了新型
測頭的研制，新型
測頭的開發(fā)又進(jìn)一步擴(kuò)大了測量機(jī)的應(yīng)用范圍。按測量方法，可將
測頭分為接觸式（觸發(fā)式）和非接觸式兩大類。觸發(fā)式測量頭又分為機(jī)械接觸式
測頭和電氣接觸式
測頭；非接觸式
測頭則包括光學(xué)顯微鏡、電視掃描頭及激光掃描頭等。本文討論的重點(diǎn)為觸發(fā)式
測頭。
（1）機(jī)械接觸式
測頭 接觸式
測頭又稱為“剛性
測頭"、“硬
測頭"，一般用于“靜態(tài)"測量，大多作為接觸元件使用。這種
測頭沒有傳感系統(tǒng)，無量程、不發(fā)訊，只是一個(gè)純機(jī)械式接觸頭。機(jī)械接觸式
測頭主要用于手動(dòng)測量。由于人工直接操作，故
測頭的測量力不易控制，只適于作一般精度的測量。由于其明顯的缺點(diǎn)，目前這種
測頭已很少使用。
（2）電氣接觸式
測頭 電氣接觸式
測頭又稱為“軟
測頭"，適于動(dòng)態(tài)測量。這種
測頭作為測量傳感器，是與工件接觸的部件，每測量一個(gè)點(diǎn)時(shí)，
測頭傳感部分總有一個(gè)“接觸—偏轉(zhuǎn)—發(fā)訊—回復(fù)"的過程，
測頭的測端與被測件接觸后可作偏移，傳感器輸出模擬位移量的信號(hào)。這種
測頭不但可用于瞄準(zhǔn)（即過零發(fā)訊），還可用于測微（即測出給定坐標(biāo)值的偏差值）。因此按其功能，電氣接觸式
測頭又可分為作瞄準(zhǔn)用的開關(guān)
測頭和具有測微功能的三向
測頭。電氣接觸式
測頭是目前使用最多的
測頭。
2．測球半徑補(bǔ)償誤差
（1）測針的選擇
正確選擇和使用
測頭是影響坐標(biāo)測量機(jī)的測量精度的重要因素。測針安裝在
測頭上，是測量系統(tǒng)中直接接觸工件的部分，它與
測頭的通訊式連接渠道稱作觸發(fā)信號(hào)。如何選用合適的測針類型和規(guī)格取決于被測工件的特征，但是在任何情況下，測針的剛性和測球的球度都是的。
工業(yè)用紅寶石是高硬度的陶瓷材料，紅寶石測球具有很好的球度，測量時(shí)紅寶石測球的球頭磨損可忽略不計(jì)。測針針桿一般用非磁性的不銹鋼針桿或碳鎢纖維針桿，以保證測針的剛性。測針的有效工作長度（EWL）使得測針接觸工件時(shí)可獲得精確的測點(diǎn)位置。球頭尺寸和測針有效工作長度的選取取決于被測工件。可能的情況下，選擇球頭直徑盡可能大、測桿盡可能短的測針，以保證的球頭/測桿距，獲得的有效工作長度和測針剛性。需要時(shí)可加長測桿以增大探測深度，但值得注意的是，使用測針加長桿會(huì)降低剛性，從而降低測量精度。
（2）測球半徑補(bǔ)償誤差
當(dāng)測針接觸到工件時(shí)，
三坐標(biāo)測量機(jī)接收的的坐標(biāo)值應(yīng)是紅寶石球頭中心點(diǎn)坐標(biāo)，顯然，
測量軟件將自動(dòng)沿著測針從接觸點(diǎn)回退的方向加上一個(gè)測球半徑值作為測量值。但該測量值是一個(gè)與
測頭的機(jī)械慣性有關(guān)的動(dòng)態(tài)值。實(shí)際上，測量作為一個(gè)動(dòng)態(tài)過程，其測量值應(yīng)該考慮到從
測頭采點(diǎn)到實(shí)際向系統(tǒng)傳送該點(diǎn)坐標(biāo)值時(shí)發(fā)生的機(jī)器空間移動(dòng)距離。盡管這個(gè)距離極小，但對(duì)系統(tǒng)計(jì)算動(dòng)態(tài)尺寸有一定影響。
在實(shí)際測量時(shí)，每測量一個(gè)元素，系統(tǒng)都可以自動(dòng)區(qū)分測球半徑的補(bǔ)償方向，計(jì)算正確的補(bǔ)償半徑。在采點(diǎn)開始后，
測量軟件將在沿著測針接觸工件的方向上對(duì)測球進(jìn)行半徑補(bǔ)償。但被補(bǔ)償點(diǎn)并非真正的接觸點(diǎn)，而是
測頭沿著測針接觸工件方向的延長線上的一個(gè)點(diǎn)。這樣就造成了補(bǔ)償誤差，產(chǎn)生誤差的大小與測球的半徑及該工件被測面與笛卡爾坐標(biāo)軸的夾角有關(guān)，夾角越大，誤差越大。
1）測球半徑r對(duì)補(bǔ)償誤差的影響
補(bǔ)償誤差δ與測球半徑r成正比關(guān)系，即測球半徑r越小，補(bǔ)償誤差δ也越小。因此當(dāng)用
三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行點(diǎn)位測量時(shí)，應(yīng)選用盡可能小的測球。
2）測針軸線與被測表面法線間的夾角α對(duì)補(bǔ)償誤差的影響
當(dāng)測針軸線與被測表面法線間的夾角α等于0時(shí)，測球半徑補(bǔ)償誤差δ也為0。因此，測量時(shí)要盡可能使測針軸線與被測表面垂直，使
測頭沿著被測表面的法線方向移動(dòng)，以限度地減小測球半徑補(bǔ)償誤差。
在用
三坐標(biāo)測量機(jī)測量點(diǎn)元素時(shí)，
測量軟件在自動(dòng)補(bǔ)償測球半徑過程中會(huì)出現(xiàn)測球半徑補(bǔ)償誤差。通過運(yùn)用參考坐標(biāo)系找正工件或用CNC模式進(jìn)行測量，使
測頭沿著被測表面的法線方向移動(dòng)采集點(diǎn)的坐標(biāo)，可以盡量減小測球半徑補(bǔ)償誤差，正確進(jìn)行測球半徑補(bǔ)償，提高測量精度。
幾十年的發(fā)展充分證明，現(xiàn)代三坐標(biāo)測量系統(tǒng)打破了傳統(tǒng)的測量模式，具有通用、靈活、高效等特點(diǎn)，可以通過計(jì)算機(jī)控制完成各種復(fù)雜零件的測量，符合機(jī)械制造業(yè)中柔性自動(dòng)化發(fā)展的需要，能夠滿足現(xiàn)代生產(chǎn)對(duì)測量技術(shù)提出的高精度、高效率要求。
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