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詳細介紹
基本參數(shù)
X向量程：100mm
Z向量程：320mm
X軸檢測方法：高精度光柵傳感器/分辨率：0.2μm
Z1向量程：±0.5mm，±1.25mm，±2mm，±5mm
X軸精度：±（3+0.02L）μm
Z1軸精度：±0.3%f.s.
X軸直線度：1.2μm/100mm
X軸測量速度： 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義
驅(qū)動方式及速度：X軸 Z軸均為 電動 4檔,可自定義速度
量程與分辨率比例：65536:1（16位）
傳感器類型：差動變壓器,2段式
| 天津佰立特科貿(mào)有限公司 |
| 參考價 | 面議 |
更新時間：2023-06-14 09:57:37瀏覽次數(shù)：489
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X軸檢測方法：高精度光柵傳感器/分辨率：0.2μm
Z1向量程：±0.5mm，±1.25mm，±2mm，±5mm
X軸精度：±（3+0.02L）μm
Z1軸精度：±0.3%f.s.
X軸直線度：1.2μm/100mm
X軸測量速度： 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義
驅(qū)動方式及速度：X軸 Z軸均為 電動 4檔,可自定義速度
量程與分辨率比例：65536:1（16位）
傳感器類型：差動變壓器,2段式
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