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    深圳市衡鵬瑞和科技有限公司>>>>ADW-08 PLUS晶圓減薄后撕膜機,半自動撕膜

    ADW-08 PLUS晶圓減薄后撕膜機,半自動撕膜

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    • 所在地 深圳市

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    更新時間:2020-08-20 17:01:02瀏覽次數(shù):379

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    產(chǎn)品簡介

    產(chǎn)地 國產(chǎn)    
    ·全自動撕膜和收集廢膜;
    ·手動放置和取出晶圓,或帶承載環(huán)貼膜的晶圓;
    ·8"陶瓷晶圓臺盤可以匹配8"晶圓/承載環(huán);

    詳細介紹

    ADW-08 PLUS晶圓減薄后撕膜機,半自動撕膜和貼膜

     

    ADW-08 PLUS半自動晶圓減薄后撕膜機特點:
    ·*設(shè)計的機械手撕膜技術(shù),無耗材撕膜;
    ·全自動撕膜和收集廢膜;
    ·手動放置和取出晶圓,或帶承載環(huán)貼膜的晶圓;
    ·8”陶瓷晶圓臺盤可以匹配8”晶圓/承載環(huán);
    ·12”陶瓷晶圓臺盤可以匹配12”晶圓/承載環(huán);
    ·基于PLC控制,帶5.7”觸摸屏;
    ·去離子風(fēng)扇和ESD保護;
    ·UV膜&非UV膜能力;
    ·配置光簾保護功能,和緊急停止按鈕;
    ·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控;


    AMSEMI半自動晶圓減薄后撕膜機ADW-08 PLUS規(guī)格:
    晶圓直徑      8”& 12”晶圓;
    晶圓厚度      100~750微米;                                                        撕膜原理
    晶圓種類      硅, 砷化鎵或其它材料;
                  單平邊,雙平邊,V型缺口;
    BG膜種類      藍膜,或UV膜;
    撕膜角度      < 45° → 0°;
    撕膜臺盤溫度  室溫~ 150℃可控;
    撕膜方式      機械手撕膜技術(shù),無需任何耗材;
    裝卸方式      手動放置與取出晶圓或貼膜晶圓/承載環(huán);
    防靜電控制    去離子風(fēng)扇;
    控制單元      基于PLC 控制,帶5.7”觸摸屏;
    安全保護      配置緊急停機按鈕;
    電源電壓      單相交流電220V,16A;
    壓縮空氣      60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺;
    機器外殼      白色噴塑金屬外殼;
    體積          1350毫米(寬)*880毫米(深)*1560毫米(高);
    凈重          400公斤;

     

    ADW-08 plus半自動晶圓減薄后撕膜機性能
    撕膜質(zhì)量      無裂紋、無破碎、無劃傷;
    每小時產(chǎn)能    ≥ 60片晶圓;
    MTBF          >168小時;
    MTTR          <1小時;
    停機時間      <3%


    AMSEMI半自動晶圓減薄后撕膜機ADW-08 PLUS相關(guān)產(chǎn)品:
    衡鵬供應(yīng)
    半自動晶圓貼膜機(減薄前)   ATW-08/ATW-12
    半自動晶圓撕膜機(減薄后)   ADW-08
    半自動貼膜機 (基板切割)    AMS-12 
    半自動晶圓貼膜機(預(yù)切割膜) AMW-08 AT  
    半自動晶圓貼膜機(切割膜)   AMW-08/AMW-12

     

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