晶圓研磨機(jī)-GNX200B擁有BG貼膜研磨技術(shù)

晶圓研磨機(jī)-OKAMOTO岡本GNX200B特點(diǎn)：

·GNX200B擁有BG貼膜研磨技術(shù)。

·一臺(tái)設(shè)備同時(shí)實(shí)現(xiàn)BG貼膜平坦化及晶圓的減薄化

·無需修砂可持續(xù)進(jìn)行高效平坦化加工。

·耗材損耗小，成本低廉。

·研磨廢料精細(xì)減輕廢水處理負(fù)擔(dān)。

·提供晶圓研磨與晶圓貼膜自動(dòng)化解決方案。

OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機(jī)規(guī)格：

規(guī)格             GNX200B     GNX300B

大加工直徑     Ф200     Ф300

軸承旋轉(zhuǎn)數(shù)     0~3600min-1     0~3000min-1

軸承驅(qū)動(dòng)電機(jī)     2.2/4 Kw/P     5.5/4 Kw/P

軸承進(jìn)給速率     1~999μm/min

主軸數(shù)             2

工作軸旋轉(zhuǎn)數(shù)     1~300min-1

軸承尺寸（外徑）    Ф250     Ф300

質(zhì)量             3900mm     5700mm

OKAMOTO岡本GNX200B晶圓研磨機(jī)相關(guān)產(chǎn)品：

衡鵬供應(yīng)

岡本OKAMOTO晶圓研磨機(jī)  GDM300/GNX200BP