ATW-08晶圓減薄前貼膜機(jī)（半自動(dòng)桌上型）

ATW-08半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)（桌上型）規(guī)格參數(shù)：
晶圓尺寸    4”&5”&6”&8”晶圓；
晶圓厚度    300~750微米；
晶圓種類(lèi)    硅, 砷化鎵或其它；
            單平邊,雙平邊,V型缺口；
膠膜種類(lèi)    藍(lán)膜或者UV膜；
            寬度：120~240毫米；
            長(zhǎng)度：100米；
            厚度：0.05~0.2毫米；
貼膜原理    防靜電滾輪貼膜；
貼膜動(dòng)作    自動(dòng)拉膜和貼膜；
晶圓臺(tái)盤(pán)    通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤(pán)；或硅膠臺(tái)盤(pán)，或陶瓷臺(tái)盤(pán)；
裝卸方式    晶圓手動(dòng)放置與取出；
防靜電控制  防靜電特氟隆涂層晶圓臺(tái)盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器；
切割系統(tǒng)    *的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀適用于不同的晶圓外形，刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)無(wú)任何飛邊，并省去修邊。
            *的手動(dòng)直切刀設(shè)計(jì)，為省膜的設(shè)計(jì)；切割刀溫度：高達(dá)150℃；
晶圓定位    通用標(biāo)線/彈簧銷(xiāo)釘；
控制單元    基于PLC控制，并帶5.7”觸摸屏；
安全防護(hù)    配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓    相交流電220V,10A；
壓縮空氣    5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺；
機(jī)器外殼    白色噴塑金屬外殼；
體積        560毫米(寬)*880毫米(深)*500毫米(高)；
凈重        80公斤；

半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)ATW-08性能
晶圓收益     ≥99.9%；
貼膜質(zhì)量     沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時(shí)產(chǎn)能   ≥80片晶圓；
更換產(chǎn)品時(shí)間 ≤5分鐘

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