儀 器 型 號

TF-5040

工作臺

玻璃臺尺寸（mm）

570×470

金屬臺尺寸(mm)

786×636

運動行程（mm）

500×400

儀器重量（kg）

850

外形尺寸（mm）

1200×1270×1870

Z軸升降行程(mm)

200（可加高至400，需定制）

X、Y、Z數(shù)顯解析度（μm）

0.5

工作距離(mm)

90

X、Y坐標示值誤差

(2.5+L/100) μm (L為被測長度單位mm)

標配

電腦

光

學

系

統(tǒng)

變倍鏡頭

倍率0.7X—4.5X

光源

上光源-LED表面環(huán)形光源 底光源-LED新型平行光源

光學尺分辨力

0.5μm

X、Y軸示值誤差  (μm)

2.5+L/100(L為被測長度，單位：mm)

攝像機

彩色1/2"攝像機

視頻總倍率

23.5X—180X

物方視場

11.1—1.7mm