? 帶0.1µm/0.4µm 分辨力 / 重復(fù)精度的指示精 度可達(dá) (1.1+0.6L/600)µm。

? 高精度測(cè)高儀加入了廣泛的測(cè)量功能。

? 為了達(dá)到的精度，使用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌。

? 測(cè)量可以通過(guò)圖標(biāo)命令來(lái)執(zhí)行，同時(shí)，也支持一鍵操作，保證正面的垂直度為 5µm，直線度為 4µm。

? 使用 TFT 液晶顯示屏，以達(dá)到的可視性和可操作性。

? 氣體全浮 / 半浮系統(tǒng)可以進(jìn)行空氣浮動(dòng)高度調(diào)整。

? 配有基本的統(tǒng)計(jì)功能，另外， RS-232C 數(shù)據(jù)輸出可通過(guò)連接計(jì)算機(jī)上的 SPC 軟件，進(jìn)行外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估 (可選)。

? 精密黑色花崗巖平臺(tái)，詳細(xì)信息參見(jiàn) E-49 頁(yè)。

? 數(shù)據(jù)備份 / 恢復(fù)，測(cè)量工件程序可通過(guò) USB存儲(chǔ)設(shè)備來(lái)執(zhí)行 (FAT16/32 兼容格式)。

通用參數(shù) ：

測(cè)量范圍 : 0 - 977mm

滑動(dòng)行程 : 600mm

分辨力 (可切換): 0.0001 / 0.001 / 0.01 / 0.1mm

20oC 時(shí)精度 *1: (1.1+0.6L/600)µm

L 為測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)

重復(fù)精度 (2σ) *1: 平面 : 0.4µm，孔 : 0.9µm

垂直度 *2 : 5µm (補(bǔ)正后)

直線度 *2 : 4µm (機(jī)械直線)

驅(qū)動(dòng)方式 : 手動(dòng) / 電動(dòng) (5 - 40mm/s, 7 級(jí))

測(cè)力 : 1N

平衡方式 : 配重 (自動(dòng)恒壓裝置)

浮動(dòng)方式 : 帶有內(nèi)置空氣壓縮機(jī)的全 / 半浮動(dòng)

顯示 : 5.7 英寸彩色 TFT 液晶顯示

顯示語(yǔ)言 : 日語(yǔ)、英語(yǔ)、德語(yǔ)、法語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西

班牙語(yǔ)、荷蘭語(yǔ)、葡萄牙語(yǔ)、瑞典語(yǔ)、捷

克語(yǔ)、匈牙利語(yǔ)、斯諾文尼亞語(yǔ)、波蘭語(yǔ)、繁體中文、簡(jiǎn)體中文、韓語(yǔ)。

可存儲(chǔ)程序 : 可達(dá) 50 個(gè)測(cè)量程序

可存儲(chǔ)數(shù)據(jù) : 可達(dá) 60,000 個(gè)測(cè)量數(shù)

電源 : AC 適配器 / 電池 (Ni-MH)

電池操作時(shí)間 : 大約 5 小時(shí)(空氣浮動(dòng)和滑塊占儀器工作量的 25%的情況下)

*1 使用標(biāo)準(zhǔn) ?5 偏心測(cè)頭

*2 使用杠桿測(cè)頭 (MLH-521) 或 Mu-checker (M-511)