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詳細介紹
| 圓度測量單元， C軸 | MFU100 |
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)** | 0.02 + 0.0004xH |
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)* | 0.01 + 0.0002xH |
| 軸向跳動 (μm+μm/mm meas. radius)** | 0.04 + 0.0002xR |
| 軸向跳動 (μm+μm/mm meas. radius)* | 0.02 + 0.0001xR |
| 分辨力 (插值) | 0.0001° |
| 調(diào)心調(diào)平工作臺 | 自動 |
| 工作臺直徑 (mm) | 180 |
| 工作臺承重， 無偏心 (N) | 200 |
| 轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz | 0.1 to 15 |
| 垂直直線測量單元， Z軸 |
|
| 測量行程 (mm) | 320 |
| 直線度誤差/100 mm (μm)** | 0.1 |
| 直線度誤差/200 mm (μm)** | 0.2 |
| 直線度誤差/測量長度(μm)** | 0.3 |
| 平行度誤差Z-/C軸，沿測頭掃描方向(μm) | 0.6 |
| 測量速度(mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位速度(mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位不確定度 (μm)帶測頭回程定位 | 1 |
| 定位不確定度 (μm) (全程定位 P to VDI 3441) | 2 |
| 分辨力(μm) | 0.001 |
| 水平直線測量單元， X軸 |
|
| 測量行程 (mm) | 190 |
| 直線度誤差 /100 mm (μm)** | 0.15 |
| 直線度誤差 / 測量長度 (μm)** | 0.3 |
| 垂直度X/C軸 (μm) | 0.3 |
| 測量速度 (mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位速度 (mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位不確定度 (μm)帶測頭回程定位 | 1 |
| 定位不確定度 (μm) | 2 |
| (全程定位 P to VDI 3441) | 0.2 |
| 直徑測量精度 (μm) | 0.001 |
| 水平直線度測量單元，Y軸 |
|
| 測量行程 | 6 |
| 直線度誤差 (μm/5 mm，濾波 0.25 mm) | 0.5 |
| 垂直度Y/X軸 (μm) | 1 |
| 分辨力 (μm) | 0.005 |
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