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詳細(xì)介紹
| 圓度測量單元， C-軸 |
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| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)** | 0.02 + 0.0005 |
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)* | 0.01 + 0.00025 |
| 軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)** | 0.04 + 0.0002 |
| 軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)* | 0.02 + 0.0001 |
| 調(diào)心調(diào)平工作臺(tái) | 手動(dòng)/自動(dòng) |
| 工作臺(tái)直徑 (mm) | 285 |
| 工作臺(tái)承重， 無偏心 (N) | 600 |
| 轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz | 1to15 |
| 垂直直線測量單元， Z軸 |
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| 定位行程 (mm) | - |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng)測量長度（mm） | 350/500 |
| 直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)** | 0.15 |
| 直線度誤差/全行程長度(μm)** | 0.3/0.4 |
| 平行度誤差Z/C軸，沿測頭掃描方向(μm-mm) | 0.5/350 0.8/500 |
| 測量速度(mm/s) | <0.1to10 |
| 定位速度(mm/s) | <0.5to100 |
| 水平直線測量單元， X軸 |
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| 定位行程 (mm) | - |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng)測量長度（mm） | 180/280 |
| 直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)** | 0.4/0.8 |
| 直線度誤差/全行程長度(μm)** | 0.8/180 0.8/280 |
| 垂直度X/C軸(μm) | 1/180 2/280 |
| 定位速度 (mm/s) | <0.5to30 |
| 測量速度 | <0.5to10 |
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