圓度測量單元， C-軸

圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)**

0.02 + 0.0005

圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)*

0.01 + 0.00025

軸向跳動 (μm+μm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0002

軸向跳動 (μm+μm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0001

調(diào)心調(diào)平工作臺

手動/自動

工作臺直徑 (mm)

285

工作臺承重， 無偏心 (N)

600

轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz

1to15

垂直直線測量單元， Z軸

定位行程 (mm)

-

電機驅(qū)動測量長度（mm）

350/500

直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)**

0.15

直線度誤差/全行程長度(μm)**

0.3/0.4

平行度誤差Z/C軸，沿測頭掃描方向(μm-mm)

0.5/350

0.8/500

測量速度(mm/s)

<0.1to10

定位速度(mm/s)

<0.5to100

水平直線測量單元， X軸

定位行程 (mm)

-

電機驅(qū)動測量長度（mm）

180/280

直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)**

0.4/0.8

直線度誤差/全行程長度(μm)**

0.8/180

0.8/280

垂直度X/C軸(μm)

1/180

2/280

定位速度 (mm/s)

<0.5to30

測量速度

<0.5to10