圓度測量單元， C-軸

圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)**

0.05 + 0.0006

圓度誤差 (μm+μm/mm 測量高度)*

0.025 + 0.0003

軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0006

軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0003

調(diào)心調(diào)平工作臺(tái)

手動(dòng)

工作臺(tái)直徑 (mm)

160

工作臺(tái)承重， 無偏心 (N)

200

轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz

5/6

垂直直線測量單元， Z軸

定位行程 (mm)

300，手動(dòng)

電機(jī)驅(qū)動(dòng)測量長度（mm）

-

直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)**

-

直線度誤差/全行程長度(μm)**

-

平行度誤差Z/C軸，沿測頭掃描方向(μm-mm)

-

測量速度(mm/s)

-

定位速度(mm/s)

-

水平直線測量單元， X軸

定位行程 (mm)

手動(dòng)180

電機(jī)驅(qū)動(dòng)測量長度（mm）

-

直線度誤差/100 mm測量長度 (μm)**

-

直線度誤差/全行程長度(μm)**

-

垂直度X/C軸(μm)

-

定位速度 (mm/s)

-

測量速度

-