MarSurf XCR 20 輪廓測(cè)量驅(qū)動(dòng)器 PCV200. 技術(shù)參數(shù)

掃描長(zhǎng)度(X方向) 0.2mm至200mm
測(cè)量范圍(Z方向) 50mm適用于350mm測(cè)臂
25mm適用于175mm測(cè)臂
測(cè)量系統(tǒng)(X方向) 高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)

(出廠經(jīng)激光干涉儀校準(zhǔn))
測(cè)量系統(tǒng)(Z方向) 電感傳感器，高精度，高線性度
0.38μm(15μm)適用于

175mm(6.89in)測(cè)臂
測(cè)點(diǎn)距離(X方向) 1.0μm至8.0μm
行程偏差 <1μm
測(cè)力(Z方向) 1mN至120mN向下和向上(可在軟件設(shè)定)
行程升角 向下降低時(shí)不超過(guò)88°，向上上升時(shí)不超過(guò)77°
測(cè)量速度(X方向) 0.2mm/s至4mm/s
速度調(diào)整間距 0.1mm/s
接觸速度(Z方向) 0.1mm/s至1mm/s

定位速度及 0.1mm/s至10mm/s可調(diào)
返回速度(X方向)

定位速度(Z方向) 0.2mm/s至8mm/s
測(cè)桿長(zhǎng)度 175mm和350mm
測(cè)針半徑 25μm
X+Z=方賢定位精度 5μm
驅(qū)動(dòng)器在測(cè)量 ±45°
立柱上調(diào)整角度

XZ二維長(zhǎng)度 ±(2+L/50)μm
測(cè)量誤差

圓弧面接觸誤差 1.5μm

角度測(cè)量誤差 U95<3.0min
U95<±3minR0.5mm-10mm
U95<±5minR10mm-100mm
半徑測(cè)量誤差 U95=±7μm
R100mm-1000mm

MarSurf XCR20 粗糙度測(cè)量驅(qū)動(dòng)器 GD25. 技術(shù)參數(shù)

掃瞄長(zhǎng)度 max. 25.4 mm (1.00 in)
掃描速度 0.1 mm/s and 0.5 mm/s

(0.0039 in/sand 0.020in/s)
測(cè)量誤差 ±2%
(+X) 方向定位速度 0.5 mm/s (0.020 in/s)
(-X) 方向返回速度 approx. 2 mm/s (0.079 in/s)
Z 方向調(diào)整范圍 max. 4 mm (0.16 in)
Z 方向接觸工件速度 approx. 0.3 mm/s (0.012 in/s)

Rz 殘 余 輪 廓 1) 2) at 20 nm (0.00000078 in)
0.1 mm/s (0.0039 in/s)

Rz 殘余輪廓 1) 2) at 30 nm (0.0000012 in)
0.5 mm/s (0.020 in/s)

直線度誤差 0.2 μm/25.4 mm (0.0000079in/1.00 in)
角度調(diào)整范圍 0.5° (9 μm/mm (0.00035 in/0.039in))
限位開(kāi)關(guān) below, in front, above, below
返回始點(diǎn)重復(fù)性 < 0.05 mm (0.0020 in), 0.02 mm(0.00079 in) 2K
操作位置 任意位置
測(cè)頭類型 適用MFW250，適用所有帶接頭套筒的 R pick-up
V 型底座 適用圓柱形工件30mm...30mm....30mm....30mm....
支撐腳 適用于平面或圓柱形工件> 72 mm (> 2.83 in)