ZEISS XENOS新型的機械設計基于經(jīng)過驗證的ZEISS CenterMax，令人印象深刻。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速度的完美統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點：高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響結(jié)合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于結(jié)合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現(xiàn)越出色的精確性。

虛擬*驅(qū)動
于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現(xiàn)越出色的精確性。虛擬*驅(qū)動XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的*驅(qū)動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術可據(jù)X軸位置完美分布驅(qū)動力作為控制系統(tǒng)及算法之完美結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。

碳化硅陶瓷
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的*驅(qū)動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術可據(jù)X軸位置完美分布驅(qū)動力作為控制系統(tǒng)及算法之完美結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可大提升30%，同時減重20%。

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